カーボンナノチューブの製造方法

開放特許情報番号
L2007002857
開放特許情報登録日
2007/6/1
最新更新日
2008/9/5

基本情報

出願番号 特願2007-005074
出願日 2007/1/12
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2008-169092
公開日 2008/7/24
発明の名称 カーボンナノチューブの製造方法
技術分野 有機材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 カーボンナノチューブ
目的 コロイド状金属触媒を用いる事により、得られる複数のナノチューブの密度を制御し、量産する事が可能なカーボンナノチューブの製造方法を提供する。
効果 カーボンナノチューブないしその配向バルク集合体の密度を制御して、高品質で量産することが出来る。
技術概要
 
基板上に触媒としてコロイド状金属触媒を配置し、原料ガスを供給するとともに、反応雰囲気中に水分を存在させて化学気相成長(CVD)法によりカーボンナノチューブを成長形成させる。反応雰囲気中の水分は10〜10000ppmとさせ、コロイド状金属触媒は、Feを主成分とするコロイド、Moの含有量をFeに対して重量比で5〜12%としたFe−Moを主成分とするコロイドなどとするのが好ましい。このコロイド状金属触媒をスピンコーティング等の塗布方法で基板上に配置する事で、大面積化や低コスト化により、スケーラビリティに優れたカーボンナノチューブを製造する事が出来る。コロイド状金属触媒を配置する基板は、シリコン、石英、セラミックス、金属等をウェハ、薄膜、板状として用いることができる。更に、触媒の活性を高め、カーボンナノチューブ成長量の増大を目的として、基板とコロイド状金属触媒との間にAl↓2O↓3等の触媒担持材を厚さ、5〜100nmに設けるのが好ましい。精製処理を行わなくても純度を98mass%以上とするカーボンナノチューブないし配向カーボンナノチューブ・バルク集合体を得る事が出来る。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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