セラミックスグリーンシート及びその製造方法

開放特許情報番号
L2007002850
開放特許情報登録日
2007/6/1
最新更新日
2008/9/5

基本情報

出願番号 特願2007-001004
出願日 2007/1/9
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2008-169050
公開日 2008/7/24
発明の名称 セラミックスグリーンシート及びその製造方法
技術分野 無機材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 ナノサイズのセラミックス粉末を用いた高品質セラミックスグリーンシート
目的 水系溶媒を使用してナノサイズのセラミックス粉末を用い、ジェットミルを用いて解砕させて高分散性濃厚スラリーとする事により、密度ムラ、そり、不均一構造などの欠陥の少ない、良好な品質のセラミックスグリーンシートの製造方法を提供する。
効果 有機溶媒を使用する方法と比べて、安全性の高い製造プロセスとする事が出来る。
技術概要
溶媒として水系溶媒を使用して、少なくとも有機結合剤、溶媒、界面活性剤/又は分散剤、及び原料セラミックスを含有させ、ジェットミル処理して解砕させたセラミックススラリーを用いてセラミックスグリーンシートを製造する。平均粒子径が100nm以下の原料セラミックスを用い、粘度を40mPa・s以下にさせ、粘度の単位時間あたりの変化量を10mPa・s/hとさせて、セラミックス粉体が、0.5〜10μmに凝集した均質な分散スラリーを、厚さ1mm以下のセラミックスグリーンシートとし、これをテープ成形、乾燥させてテープ成形体を得る。乾燥は、マイクロ波を用い自然乾燥と同等な乾燥状態にかつ短時間で乾燥させ、充填率を、30%以上とさせるのが好ましい。電子機器用セラミックス基板、LSI用セラミックパッケージ、多層セラミック回路基板、セラミックコンデンサ等、様々な用途で用いることの出来る、セラミックスグリーンシート、及びセラミックスシート部材とすることが出来る。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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