表面プラズマ発生用電極

開放特許情報番号
L2007002813
開放特許情報登録日
2007/6/1
最新更新日
2015/9/15

基本情報

出願番号 特願2006-336463
出願日 2006/12/14
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2008-152924
公開日 2008/7/3
登録番号 特許第5019428号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 表面プラズマ発生用電極
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 表面プラズマ発生用電極、気体燃料の混合攪拌促進、流体輸送システム、流体工学技術分野
目的 表面に平行に発生するプラズマを用いて、表面から立ち上がる方向にプラズマを噴出させるに際し、より強力なプラズマを噴出することができ、またプラズマの噴出方向を容易に任意の方向に変更することができるようにした表面プラズマ発生用電極の提供。
効果 絶縁体を挟んで表面側電極と裏面側電極を配置してなる電極対から発生する表面プラズマを衝突させ、表面から立ち上がる方向のプラズマを発生するに際して、そのプラズマに旋回を与えて安定して大きな力のプラズマを噴射させることができ、またその旋回方向も変更可能となり、更にそのプラズマの噴射方向を任意に変更することができるようになる。
技術概要
この技術では、表面プラズマ発生用電極は、絶縁体を挟んで表面側電極の裏側に裏面側電極を配置してなる電極対を用い、両電極に交流電圧を印可することにより表面電極の端縁から表面プラズマを発生させ、対向する表面プラズマにより表面から立ち上がるプラズマを噴射する表面プラズマ発生用電極において、対向する表面プラズマに対して交差する方向に表面プラズマを発生させる電極対を配置して、表面から立ち上がるプラズマに旋回を与えるものとする。または、表面プラズマ発生用電極において、対向する1組の電極対に直交するように他の対向する1組の電極対を配置する。また、中心に開口を形成したリング状電極対の内周に沿って複数に分割した端縁からなる表面プラズマ発生部を形成し、複数の端縁の向きをリングの中心方向からずらして配置すことによりリングの円周に対して傾斜して配置してもよい。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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