エンクロージャ等に用いる精製空気供給システム

開放特許情報番号
L2007002423
開放特許情報登録日
2007/4/27
最新更新日
2007/4/27

基本情報

出願番号 特願平09-215729
出願日 1997/7/25
出願人 高砂熱学工業株式会社
公開番号 特開平11-044442
公開日 1999/2/16
登録番号 特許第3808596号
特許権者 高砂熱学工業株式会社
発明の名称 精製空気供給システム
技術分野 機械・加工、土木・建築
機能 洗浄・除去、加熱・冷却、加圧・減圧
適用製品 クリーンルーム、クリーン機器、ガス不純物対策設備、分子汚染物質対策設備、ケミカル汚染対策設備、ガス状不純物対策設備、局所クリーンシステム
目的 生産環境の高度クリーン化
効果 上記目的の達成
技術概要
 
ミニエンバイラメント対応のクリーンエア給気システム。 精製空気(化学物質や水分を極力少なくした空気)をエンクロージャに導くに際し、エンクロージャ内の圧力を圧力センサで測って流量を制御する。 空気精製装置(ファンと、ケミカルフィルタや除湿素子のようなフィルタを備える)とエンクロージャ(搬送装置のインターフェース部など)を、給気管と還気管で連結する。装置内の導入空気導入管(CR内空気等を取り入れる)にフィルタを介装する。還気管はエンクロージャ内の雰囲気の一部をフィルタの上流側に戻す。エンクロージャ内を正圧になるように制御しリークが通常時より多くなった際には、圧力センサからの信号に基づき、還気および導入空気の流量を制御する。これにより内部の不純物濃度を一定以下に抑える。 A上記発明を複数のエンクロージャに適用する発明で、複数のエンクロージャに対応して空気精製装置と給気管、還気管、導入管をそれぞれ設け、導入管はプレ空気精製装置を途中に接続し、各精製装置に向けて分岐させてもよい。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 高砂熱学工業株式会社

事業化情報

事業化条件
特別資格 【不要】 
必要設備 【無】 
必要環境 【無】 
設備費用 【無】 
ポテンシャル 【不要】 
マーケット情報 【無】 
質的条件
事業化実績 【無】 
追加開発 【不要】 
その他情報 【不要】 

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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