形状測定装置及び該方法

開放特許情報番号
L2007002364
開放特許情報登録日
2007/4/13
最新更新日
2008/10/17

基本情報

出願番号 特願2005-168863
出願日 2005/6/8
出願人 国立大学法人京都大学
公開番号 特開2006-343205
公開日 2006/12/21
登録番号 特許第4143728号
特許権者 国立大学法人京都大学
発明の名称 形状測定装置及び該方法
技術分野 機械・加工
機能 検査・検出、その他
適用製品 形状測定装置
目的 物体形状をより精度よく求め得る形状測定装置及び形状測定方法を提供する。
効果 受信信号の波形が送信パルスの波形と相違する場合でも、物体の形状をより精度よく求めることができる。
技術概要
図1に示す形状測定装置は、送信パルスを生成する信号生成部11と、送信パルスを空間に放射する送信アンテナA↓1と、送信パルスの放射位置で物体反射の送信パルスを受信する受信アンテナA↓2及び信号受信部12と、物体に対して送信アンテナA↓1の位置を変えながら送信パルスを放射して得た複数の受信信号と参照信号とから複数の相関波形を求める相関部131と、複数の相関波形に基づいて擬似波面を抽出する擬似波面抽出部132と、擬似波面と物体形状との対応関係から物体形状を推定する形状推定部133と、推定物体形状に応じた受信信号波形を推定する波形推定部134を含む演算処理部13を備える。図2に示すように、各測定位置xnで送信パルスを送信し、目標の物体Oから反射した送信パルスの反射波を受信し、図3のフローチャートに示すように、受信波をA/D変換し記憶する(S11)。さらに参照信号波形として最初は送信パルス波形を用い、次回以降は推定した受信信号波形を用い、物体形状を複数回推定することで物体形状を求める(S18)方法および装置である。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【改善】
改善効果1 3次元測定に容易に拡張可能である。
改善効果2 超音波や光を用いても同様に行える。
改善効果3 超音波短パルスやフェムト秒光パルスを利用することによって高分解能の顕微鏡が構成される。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2017 INPIT