光飛行時間型距離センサ

開放特許情報番号
L2007002242
開放特許情報登録日
2007/3/30
最新更新日
2009/5/29

基本情報

出願番号 特願2004-041057
出願日 2004/2/18
出願人 国立大学法人静岡大学
公開番号 特開2005-235893
公開日 2005/9/2
登録番号 特許第4280822号
特許権者 国立大学法人静岡大学
発明の名称 光飛行時間型距離センサ
技術分野 電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 距離画像撮像装置、CCD、CMOS
目的 光源から投射されたパルス光が測定対象物により、はね返ってきたときの遅れ時間を測定する距離センサの提供。
効果 CMOS集積回路あるいは、CMOSイメージセンサとして用いられるあらゆる構造に対して、本技術の構造及び考え方を、一般性を失うことなく適用することができる。
技術概要
この技術では、半導体基板上に絶縁層を設け、その上に電荷転送用のフォトゲート電極を2つ設ける。絶縁層の縁部には受光層からの電荷取りだし用の浮遊拡散層を設けるとともに、その外側にリセット用ゲート電極及びリセット電位供給用の拡散層を設ける。半導体基板としてp型シリコン基板、絶縁層としてフィールド酸化膜、フォトゲート電極としてポリシリコン電極を用いる。そして、フィールド酸化膜の上に、できるだけ接近して2つのポリシリコン電極を形成する。それらに互いに逆位相の繰り返しパルス信号を与えて動作させる。ポリシリコン電極は十分に薄く、受信する光の波長に対して十分な透過が可能であるものとする。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【有】   
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