出願番号 |
特願2003-418086 |
出願日 |
2003/12/16 |
出願人 |
国立大学法人静岡大学 |
公開番号 |
特開2005-183454 |
公開日 |
2005/7/7 |
登録番号 |
特許第4200213号 |
特許権者 |
国立大学法人静岡大学 |
発明の名称 |
広域エネルギーレンジ放射線検出器 |
技術分野 |
電気・電子 |
機能 |
機械・部品の製造、検査・検出 |
適用製品 |
X線、高エネルギーの電磁波、半導体素子、軟X線、硬X線、検出素子 |
目的 |
軟X線及び硬X線の双方に対して良好な感度を得ることは困難であることの改善。 |
効果 |
Si基板とCdTe(またはCdZnTe)基板とをタンデムに配置し、Si基板側からX線を入射すると、軟X線はSi基板の内部で吸収されるが、硬X線はSi基板を透過しCdTe(またはCdZnTe)基板の内部に浸透し消滅する。それぞれの基板に電極を設けることにより、X線の消滅に伴う電荷を検出できる。 |
技術概要
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この技術は、広域エネルギーレンジのためにタンデム構造を採用することに基づく。IV族の半導体としてSi(シリコン)を軟X線検出に用いるとともに、II−VI族の半導体としてCdTe(カドミウム・テルル)またはCdZnTe(カドミウム・ジンク・テルル)を硬X線検出に用いるものとする。この2材料をIII族のIn(インジウム)で接着する。接合時において、接合面にInをはさみ込み加熱圧着することにより、CdTe側はn型半導体となり、Si側はp型半導体となる。タンデム構造を採用する際に、接着材料としてInを用いることによって、両半導体における不純物金属としての効果をも有することとなり、CdTe−pin(p型−insulator−n型)半導体と、Si−pin半導体とを直列に接続する構造が容易に作成できる。 |
実施実績 |
【無】 |
許諾実績 |
【無】 |
特許権譲渡 |
【可】
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特許権実施許諾 |
【可】
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