電子線発生装置

開放特許情報番号
L2007002055
開放特許情報登録日
2007/3/30
最新更新日
2007/3/30

基本情報

出願番号 特願平10-175569
出願日 1998/6/23
出願人 名古屋大学長
公開番号 特開2000-011933
公開日 2000/1/14
登録番号 特許第2952354号
特許権者 国立大学法人名古屋大学
発明の名称 電子線発生装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 電子電流、加速エネルギー、半導体集積回路の製造、各種薄膜の作成、表面処理、プラズマプロセス装置、廃棄ガス処理装置、微細加工
目的 大きな電子放出電流を有するとともに高い加速エネルギーを有する電子線を効率良く発生することができ、しかも小型で安価な電子線発生装置の提供。
効果 陽極周辺に印加電圧のかなりの部分が加わり、高電界が生じ、電子を効率よく加速することができる。したがって、陽極電極としてリング状、円筒状、メッシュ状の電極を使用することによって加速電子を効率良く透過させることができる。
技術概要
この技術では、電子線発生装置は、密閉空間を画成する容器と、容器内に配置された熱電子放出陰極と、容器内に熱電子放出陰極と対向するように配置され、電子線が透過できるような形状を有する陽極と、熱電子放出陰極と陽極との間に放電電圧を印加する手段とを具え、容器内を希薄気体で満たし、希薄気体の放電で生成される正イオンによって熱電子放出陰極の電子空間電荷を中和するとともに陽極降下が発生する領域に大きな加速電界を形成するように構成する。電子線を透過できる形状の陽極を、リング状、円筒状またはメッシュ状に構成するとよい。また、容器内の希薄気体の圧力は、0.1〜1000mTorrとするとよい。希薄気体の圧力を0.1mTorrよりも低くすると、熱電子放出陰極の電子空間電荷を中和するための正イオンの発生量が少なくなり、十分大きな電子放出電流が得られず、1000mTorrよりも高くすると、蛍光灯の放電と同じグロー放電と熱電離型プラズマとの中間のプラズマとなってしまい、陽極降下領域の電位差がそれほど顕著ではなくなるとともに電子の平均自由行程が短くなり過ぎてしまう。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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