透過型電子顕微鏡及び立体観察法

開放特許情報番号
L2007002035
開放特許情報登録日
2007/3/30
最新更新日
2007/3/30

基本情報

出願番号 特願2002-336392
出願日 2002/11/20
出願人 国立大学法人名古屋大学
公開番号 特開2004-171922
公開日 2004/6/17
登録番号 特許第3785458号
特許権者 国立大学法人名古屋大学
発明の名称 透過型電子顕微鏡及び立体観察法
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 計算機処理、3次元構造、試料の傾き、視差角、ステレオビュアー
目的 CT法においては計算機処理に時間を要し、試料の変化を実時間で観察することができない、ステレオ投影法においては試料の回転という操作に加えて、現像及び焼き付けという操作が加わり、これら一連の操作には数十分を要することから、試料の変化を実時間で観察することができないということに鑑みた、試料の変化を実時間で観察できる透過型電子顕微鏡及びこの顕微鏡を用いた立体観察法の提供。
効果 試料面の観察に要するタクトタイムは第1の電子線及び第2の電子線の、試料面に対する照射時期のずれ(時間間隔)に依存する。そして、この時間間隔は、偏向板に対する印加電圧の極性の切り替え時間に相当する。したがって、電圧極性の切り替えを所定の外部信号などと同期させて行なうことにより、時間間隔を極めて短く、例えば100分の1秒オーダ程度まで簡易に低減することができる。したがって、試料の所定部分の立体観察を実時間で行なうことができる。
技術概要
この技術は、所定の電子線照射源より発せられた電子線を偏向させて2種類の電子線を形成し、それぞれ異なる角度で試料面の同一部分に入射させることにより、2種類の電子線に対応させた2種類の像を得、これらを結合することによって、3次元的に観察できることに基づく。すなわち、偏向装置は、一対のフィラメントと、この一対のフィラメントの外方に設けられた一対のアース電極とからなる電子線台形プリズムを含み、さらに、電子線照射源及び電子線台形プリズムと、3次元画像表示装置との間において、第1の電子線による第1の像、及び電子線照射源から発せられた第3の電子線により、試料面を介することなく得た第3の像を重ね合わせた第1の電子線ホログラムと、第2の電子線による第2の像、及び第3の像を重ね合わせた第2の電子線ホログラムとを形成するための結像装置を具える透過型電子顕微鏡とする。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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