| 出願番号 |
特願2005-026733 |
| 出願日 |
2005/2/2 |
| 出願人 |
国立大学法人岩手大学 |
| 公開番号 |
特開2006-214823 |
| 公開日 |
2006/8/17 |
| 登録番号 |
特許第4613310号 |
| 特許権者 |
国立大学法人岩手大学 |
| 発明の名称 |
表面形状測定装置 |
| 技術分野 |
電気・電子 |
| 機能 |
検査・検出 |
| 適用製品 |
表面形状測定装置、物体表面形状計測 |
| 目的 |
測定点間の高さの差を計測して表面形状を得るときに、相対誤差による影響がなく、高い分解能が達成される走査による測定の提供。 |
| 効果 |
閉じた走査を行うことにより、相対誤差の走査を終了した時点で計算して、取り除いて表面形状を得ることができる。また、２重共有ヘテロダイン干渉計は、閉じた走査を行うことにより、２つの干渉計間の相対誤差による影響がなく、サブナノメータの解像度で断面を得ることができる。 |
技術概要
 |
この技術では、複数のセンサにより試料とセンサ間の高さの差を得て試料の表面形状を得る表面形状測定装置は、試料と複数のセンサとを相対的に移動して試料表面を走査するための走査部を有する。走査部は、等間隔ごとに高さの差のデータを記憶しながら走査の出発点まで戻り、出発点を終点とする閉じた走査を行い、出発点と終点とが同じ高さであることを用いて、センサ間の高さの相対的誤差を得て、相対誤差を較正して試料の表面形状を得るものとする。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)