二酸化珪素膜で被覆された複合ナノワイヤー及びその製造方法

開放特許情報番号
L2007001478
開放特許情報登録日
2007/3/23
最新更新日
2015/10/12

基本情報

出願番号 特願2005-164284
出願日 2005/6/3
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2006-334742
公開日 2006/12/14
登録番号 特許第5030075号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 二酸化珪素膜で被覆された複合ナノワイヤー及びその製造方法
技術分野 無機材料、電気・電子
機能 材料・素材の製造、その他
適用製品 電子材料、電子デバイス、光学材料、光学デバイス
目的 二酸化珪素膜で被覆され、かつ、その先端同士が接合した二酸化珪素膜で被覆された複合ナノワイヤーの提供、およびその製造方法を提供する。
効果 先端同士が接合したインジウムナノワイヤー及び珪素ナノワイヤーからなる複合ナノワイヤーを、二酸化珪素膜で層状に被覆した複合ナノワイヤーを得ることが出来る。複合ナノワイヤーを、一段の反応により容易に製造することができる。
技術概要
インジウムナノワイヤーと珪素ナノワイヤーとからなる複合ナノワイヤーであって、インジウムナノワイヤーの先端と珪素ナノワイヤーの先端とが接合し、さらに、二酸化珪素膜で被覆されていることを特徴とする。その直径が約200nm、長さが数十μmであり、珪素ナノワイヤーは直径が約200nm、その長さが数μmであり、二酸化珪素膜の厚さが8nmであることを特徴とする。インジウム粉末と一酸化ケイ素粉末との混合物6を不活性ガス気流中7で加熱処理して形成する。インジウム粉末と一酸化ケイ素粉末とのモル比は、0.2:1〜3:1の範囲、加熱処理の温度は1200〜1600℃の範囲、加熱処理の時間は0.3〜2時間の範囲で、不活性ガス7としてアルゴンガスを使用する。図1はこの複合ナノワイヤーを製造する装置の模式図である。図2(a)は合成した灰色粉末の透過型電子顕微鏡像、(b)〜(d)は(a)の透過型電子顕微鏡像の各部におけるエネルギー分散型X線分析による測定結果を示す図である。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【改善】
改善効果1 複合ナノワイヤーの高い反応性に起因する性状の劣化を防止することができる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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