原子の拡散を制御することによる金属ナノワイヤの製造方法およびこの方法により製造する金属ナノワイヤ

開放特許情報番号
L2007001387
開放特許情報登録日
2007/3/16
最新更新日
2009/4/10

基本情報

出願番号 特願2004-264960
出願日 2004/9/13
出願人 国立大学法人東北大学
公開番号 特開2006-075961
公開日 2006/3/23
登録番号 特許第4257429号
特許権者 国立大学法人東北大学
発明の名称 原子の拡散を制御することによる金属ナノワイヤの製造方法およびこの方法により製造する金属ナノワイヤ
技術分野 金属材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 原子の拡散を制御することによる金属ナノワイヤの製造方法により製造する金属ナノワイヤ
目的 高密度電子流において原子の拡散が起きる金属からナノワイヤを製造させる方法を実現する。
効果 この方法を用いれば、駆動力の負荷の与え方、および、拡散した原子や分子の拘束の仕方を変えることで様々な種類のナノワイヤを作製することが可能となる。
技術概要
材料を構成する原子および分子に物理的な駆動力を与えることで拡散を発生させ、物理的な拘束を設けることにより一度拡散させた原子および分子を集約、成長させる金属ナノワイヤの製造方法である。また、高密度の電子流によって原子および分子を拡散させ、物理的な拘束を設けることで一度拡散させた原子および分子を集約、成長させる金属ナノワイヤの製造方法である。また、高密度の電子流によって拡散させた原子や分子を拘束する役割を果たす目的で保護膜を被覆させる微細金属配線である。また、駆動力を負荷することでアルミニウム原子を拡散させ、これを集約することで生成するアルミニウムナノワイヤである。また、エレクトロマイグレーションにより発生するヒロックを保護膜で拘束することにより、拡散した原子を集約することでナノワイヤの作製が可能となる微細アルミニウム配線である。図1は作製したアルミニウムナノワイヤである。図2はタングステン溝に配線金属を埋め込んだサンプルの説明図である。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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