投影光学装置

開放特許情報番号
L2007001372
開放特許情報登録日
2007/3/16
最新更新日
2011/12/2

基本情報

出願番号 特願2005-086418
出願日 2005/3/24
出願人 国立大学法人東北大学
公開番号 特開2006-267633
公開日 2006/10/5
登録番号 特許第4848510号
特許権者 国立大学法人東北大学
発明の名称 投影光学装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 投影光学装置
目的 反射鏡の設置誤差が結像特性に与える影響を小さく抑える特性を有する反射型投影光学装置を提供する。
効果 反射鏡の設置誤差が結像特性に与える影響を小さく抑える特性を有する反射型投影光学装置が得られる。
技術概要
物体(i=0)からでた光を反射光として反射させる第1の反射面を有する第1の素子(i=1)と、反射光を反射させ像面(i=3)に結像させる第2の反射面を有する第2の素子(i=2)とを、備えた投影光学装置において、少なくとも球面収差、コマ収差、及び非点収差が補正され、第1の素子(i=1)は、第1の反射面として、非球面の反射面を有し、第2の素子(i=2)は、第2の反射面として、非球面の反射面を有する。好ましくは、第1の素子(i=1)及び第2の素子(i=2)は、光軸に対して回転対称な非球面の反射面を有する。より好ましくは、第1の素子(i=1)の近軸マージナル光線の光線高比γ↓1が、例えば、0.5≦γ↓1<1の領域にある。図1は取り扱う2面反射結像系を示す図、図2は軸上物体に対する瞳の中心遮光を示した図、図3はナスティグマート解において、第1ミラーの近軸マージナル光線の光線高比γ1による光学系の結像特性(有効視野径)の変化を示すグラフである。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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