ダイヤモンドライクカーボン膜の製膜装置

開放特許情報番号
L2007001335
開放特許情報登録日
2007/3/16
最新更新日
2014/5/30

基本情報

出願番号 特願2001-004490
出願日 2001/1/12
出願人 ふくはうちテクノロジー株式会社
公開番号 特開2002-212728
公開日 2002/7/31
登録番号 特許第3880797号
特許権者 ストローブ株式会社
発明の名称 ダイヤモンドライクカーボン膜の製膜装置
技術分野 機械・加工
機能 表面処理
適用製品 飲料用ボトル、食品用包装容器、医薬品用包装容器、ダイヤモンドライクカーボン膜製膜装置
目的 外部電極の内部形状と内部電極の外部形状をプラスチック容器と相似形に成形しなくても、そのプラスチック容器の内面全体に均一なダイヤモンドライクカーボン膜を形成できるようにする。
効果 外部電極の内部形状と内部電極の外部形状をプラスチック容器と相似形に成形して両電極の間隔を均一に保たなくても、容器の内面に全体的に均一なダイヤモンドライクカーボン膜を形成できる。
技術概要
この製膜装置は、図1に示すように、真空チャンバとなる外部電極1の内部に収容されたボトル形プラスチック容器の口3からその容器内に内部電極4を挿入すると共に原料ガスを導入し、外部電極1と内部電極4との間に高周波を印加してプラズマを発生させることにより、ボトル形プラスチック容器2の内面にダイヤモンドライクカーボン膜を形成する製膜装置で、外部電極1の内部形状が、ボトル形プラスチック容器2を容器の底部側から収容可能な形状に成形され、外部電極1の内部に収容されたボトル形プラスチック容器2の軸方向と略平行に磁界Mを印加する磁界印加手段17が、ボトル形プラスチック容器2の縮径部18に対して集中的に磁界を印加するか、あるいは縮径部18に対して他の部分よりも強い磁界を印加するように構成されている。外部電極1の内部に、その内部に収容されたボトル形プラスチック容器2の底部を嵌合させて容器2を定位置に保持する位置決め用治具8が着脱自在に設けられている。
実施実績 【有】   
許諾実績 【有】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【改善】
改善効果1 真空蒸着物質であるプラスチックが外部電極内に露出して不純物を増加させるおそれもない。
改善効果2 高品質のダイヤモンドライクカーボン膜を形成することができる。
改善効果3 炭素系ガスと水素ガスとの混合ガスを用いることにより、ダイヤモンドライクカーボン膜のガスバリア性を飛躍的に向上させることができる。

登録者情報

登録者名称 ストローブ株式会社

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【有】   
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