| 出願番号 |
特願2008-513117 |
| 出願日 |
2007/3/26 |
| 出願人 |
国立大学法人山梨大学 |
| 公開番号 |
WO2007/125726 |
| 公開日 |
2007/11/8 |
| 登録番号 |
特許第4639341号 |
| 特許権者 |
国立大学法人山梨大学 |
| 発明の名称 |
クラスタイオン衝撃によるエッチング方法およびそれを利用した質量分析方法 |
| 技術分野 |
電気・電子、情報・通信 |
| 機能 |
検査・検出、機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
質量分析装置、生体分析、エッチング装置、微細加工装置 |
| 目的 |
この発明は、タンパク質分子やＤＮＡ分子などのライフサイエンス関連試料の質量分析のために好的で、分子レベル空間情報のイメージングが可能なイオン化方法及び装置を提供する。 |
| 効果 |
この発明によれば、試料に衝突する帯電液滴のビームの広がりをマスクによって制限する構造となっている。そのため、帯電液滴の衝突位置を固定しておくことにより、試料の深さ方向の情報を得ることが出来る。また衝突位置を試料表面に対して二次元的に走査すれば、試料表面層の分子の二次元情報を得ることが出来るものである。 |
技術概要
 |
従来から生体試料のイメージングに、マトリクス支援レーザー脱離イオン化法（ＭＡＬＤＩ）及びイオン衝撃法（ＦＡＢ／ＳＩＭＳ）が利用されていた。しかし、ＭＡＬＤＩは、生体試料にマトリックスを塗布するので、レーザー照射により、塗布物のケミカルノイズが発生する問題がある。またＦＡＢ／ＳＩＭＳでは、高速原子、イオンを使用するので一次衝撃粒子が深く試料に侵入し、試料を化学的に激しく破壊すると言う問題がある。この発明は、この点を改善するために、クラスタイオン衝撃によるイオン化法（ＥＤＩ）を用いたものである。具体的には、帯電液滴生成室内において、コールドを含む各種のエレクトロスプレーによりミクロンオーダーの帯電液滴のビームを形成し、これを真空加速室内において１０ＫＶ程度の高圧電場により加速して、冷却された試料基板上に塗布した生体試料薄膜を衝撃し、生体高分子のイオン化を行う。試料基板の前方にマスクを配置し、ビーム状帯電液滴の広がりを制御する。これにより二次元情報が得られる様になる。また帯電液滴にエッチング溶液を用いることにより、微細エッチングを行うことも可能となる。 |
| イメージ図 |
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| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
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