高温場用フレキシブル電極

開放特許情報番号
L2007001269
開放特許情報登録日
2007/3/9
最新更新日
2015/9/28

基本情報

出願番号 特願2006-323509
出願日 2006/11/30
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2008-140584
公開日 2008/6/19
登録番号 特許第4969223号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 高温場用フレキシブル電極
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 高温プラズマアクチュエータ用の電極
目的 絶縁体に貼り付けた電極が高温場で用いても剥離しないようにさせた、高温場用フレキシブル電極を提供する。
効果 電極をフレキシブルにすることにより絶縁体と電極との熱膨張差を吸収し、製造しやすく、且つ、絶縁体とその表面に設ける電極との剥離を防止することができる。
技術概要
個別の電極1’、1’などを互いに間隔を置いて1列に配置した第1電極列1と、この第1電極列1に対向させて間隔を置いた、個別の電極2’、2’などを、間隔を置いて1列に配置した第2電極列2とから電極を接続するように配置する。ここで、第1電極列と第2電極列を平面上に、或いは垂直方向に重ねて隣接させる。また、第1電極列と第2電極列からなる1列の電極をリング状に配置する、或いは、第1電極列の個別の電極をコ字状、或いは数字の「2」状等に形成し、互いに突出する腕部分を電極列の軸線方向に対して直角方向に重ねて、全体として1列の電極とするのが好ましい。電極は、例えばNi、或いはMo等の耐熱性金属の薄膜とし、セラミックス等の絶縁体3の表面に貼り付けて作成する事が出来る。これらの高温場用フレキシブル電極を、ガスタービン等の高温場で用いる表面プラズマ発生装置の表面電極として用いる事が出来る。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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