サファイア基板上超電導酸化物多層薄膜及びその作製方法

開放特許情報番号
L2007001267
開放特許情報登録日
2007/3/9
最新更新日
2015/9/28

基本情報

出願番号 特願2006-322439
出願日 2006/11/29
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2008-140789
公開日 2008/6/19
登録番号 特許第5327772号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 サファイア基板上超電導酸化物多層薄膜及びその作製方法
技術分野 電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 薄膜限流器など各種の超電導利用装置に有用な超電導酸化物多層薄膜に適用する。
目的 基板上に特定性状を有し特定組成の酸化物薄膜を多層に積層してなる超電導酸化物多層薄膜を提供する。
効果 高臨界電流密度であり、かつ、クラックの生じない大面積の高温超電導酸化物薄膜が可能になる。
技術概要
 
例えば、バッファ層を有するサファイア単結晶基板のバッファ層上に、(A)1層目の空孔率1%以上の高温超電導酸化物(RE)Ba↓2Cu↓3O↓7(REはY、Nd、Sm、Eu、Gd等)薄膜((RE)BCO薄膜と略称)を設け、次いで、(B)(RE)BCO薄膜とは異なるRE’を選んだ(RE’)Ba↓2Cu↓3O↓7の中間層薄膜を設け、次いで、(C)2層目の空孔率1%以上の(RE)BCO薄膜を設けることによって製造された多層構造の(RE)BCO薄膜にする。中間層薄膜が高温超電導酸化物(RE)BCO薄膜中に2層以上存在する多層構造の(RE)BCO薄膜でもよく、また、(RE)BCO薄膜の(RE)がYであり、中間層薄膜の(RE)がDyである(RE)BCO薄膜でもよい。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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