光走査装置

開放特許情報番号
L2007001185
開放特許情報登録日
2007/3/9
最新更新日
2018/1/23

基本情報

出願番号 特願2008-538626
出願日 2007/9/26
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 WO2008/044470
公開日 2008/4/17
登録番号 特許第5229704号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 光走査装置
技術分野 情報・通信、情報・通信、その他
機能 制御・ソフトウェア、機械・部品の製造、その他
適用製品 光ビームの走査によりスキャンを行う光スキャナ。
目的 ミラー部を支持する捻れ梁部を有する基板にエアロゾルデポジション法、スパッタリング法あるいはゾル−ゲル法等の薄膜形成技術を用いて圧電膜アクチュエータを形成し、基板の振動を利用してミラー部に捻れ振動を生じさせることにより、簡単な構造で効率的にミラー部に捻れ振動を発生することができる光走査装置の提供を目的とする。
効果 基板本体の両側部から突出した2つの片持ち梁部間に捻れ梁部によりミラー部の両側を支持し、基板本体のミラー部側と反対側の端部を固定するとともに、基板本体の一部に駆動源を設けることにより、5kHz以上の高速走査速度及び20°以上の大振幅光学走査角を有する高性能な光走査装置を提供できる。
技術概要
光走査装置は、基板本体と、基板本体の一側の両側部から突出した2つの片持ち梁部と、これら片持ち梁部間に捻れ梁部により両側を支持されるミラー部と、基板本体を振動させる駆動源と、ミラー部に光を投射する光源とを備える。ミラー部は駆動源によって基板に加えられる振動に応じて共振振動し、光源からミラー部に投射される光の反射光の方向がミラー部の振動に応じて変化する。 この発明では、基板本体のミラー部側と反対側の固定端部を支持部材に固定するとともに、基板本体の一部に駆動源を設けることを特徴としている。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT