波長分割画像計測装置

開放特許情報番号
L2007000935
開放特許情報登録日
2007/3/2
最新更新日
2017/10/13

基本情報

出願番号 特願2007-534435
出願日 2006/9/5
出願人 株式会社 東北テクノアーチ、株式会社フォトニックラティス
公開番号 WO2007/029714
公開日 2007/3/15
登録番号 特許第5022221号
特許権者 国立大学法人東北大学
発明の名称 波長分割画像計測装置
技術分野 電気・電子、情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 波長分割画像計測装置
目的 計測対象物からの広帯域の入射光を、選択性よく複数の波長に分割し、それらの像を同時一括に計測することのできる波長分割画像計測装置を提供することを目的とする。計測光に含まれる狭帯域の波長成分ごとの空間分布を1回の撮像で取得することが可能な波長分割画像計測装置を提供する。
効果 計測光に含まれる狭帯域の波長成分ごとの空間分布を1回の撮像で取得することが可能になる。また、アレイ化するフィルタ要素の種類を増やすことで、分割する波長の数も増やすことができる。また、波長フィルタアレイと受光素子アレイとのみが用いられるため集積化が容易であり、小型化が可能となる。
技術概要
図1は波長フィルタアレイ上面の概念図である。アレイ全体は微小なフォトニック結晶の要素領域101の集まりで構成される。個々の要素領域101の内部では波長に対する透過特性は一様またはほぼ一様である。基板201上にフォトリソグラフィによって1次元または2次元の周期格子上のマスクパターンを形成し、続いて反応性イオンエッチングを用いてそのパターンを基板に転写する。図2は自己クローニング法によるフォトニック結晶の形成を示す概念図である。また、図3に示すように、基板上302に、微細な周期的な凹凸格子を加工する。このとき、格子形状や格子周期の異なる微小な要素領域101を基板302面内に複数、繰り返し配置しておく。次にバイアススパッタ法を用いて、高屈折率材料と低屈折率材を交互に多層積層してフォトニック結晶構造の波長フィルタ301を形成する。このようにして、鋭い波長選択特性を持ち、かつ波長透過特性の異なるフォトニック結晶波長フィルタ301のアレイを得ることができる。このアレイと、要素領域101に対向させて配置した画素303を有する受光素子302のアレイとを組み合わせて波長分割画像計測装置とする。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 計測対象とする波長域自体が大幅に変更されても、フィルタアレイの設計と作製は共通の指針及びプロセスに従って実現することができる。このような波長フィルタアレイを用いた波長分割画像計測装置の工業用途は広く、従来のカラーイメージセンサにない画像計測機能を提供することができる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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