軟質薄膜の物性値測定方法とそのための装置

開放特許情報番号
L2007000896
開放特許情報登録日
2007/3/2
最新更新日
2010/1/8

基本情報

出願番号 特願2006-140770
出願日 2006/5/19
出願人 国立大学法人東北大学
公開番号 特開2007-309850
公開日 2007/11/29
登録番号 特許第4403280号
特許権者 国立大学法人東北大学
発明の名称 軟質薄膜の物性値測定方法とそのための装置
技術分野 その他
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 軟質薄膜の物性値測定装置
目的 従来の薄膜の物性値測定方法では測定が困難な、単体の軟質薄膜の物性値を超音波が軟質薄膜を通過する際に生じる音響共鳴現象を利用して、高精度に測定する軟質薄膜の物性値測定方法と、そのための装置を提供をする。
効果 この方法および装置により、薄膜の厚さが薄い場合であっても、また、薄膜の音響インピーダンスが低い場合であっても、超音波が軟質薄膜を通過する際に生じる音響共鳴現象を利用して、単体の軟質薄膜の物性値を高精度に測定できるようになる。
技術概要
液体音響媒体と固体平板との間に、軟質薄膜を介して、軟質薄膜と固体平板とを密着させた状態と、軟質薄膜を介さない状態とで超音波伝達系を構成し、両者の超音波伝達系において液体音響媒体側から超音波を伝達し、軟質薄膜を介した状態と、軟質薄膜を介さない状態とで得られた固体平板裏面からの超音波エコーの振幅スペクトルを解析し、超音波が軟質薄膜を通過する際に生じる音響共鳴現象を利用して軟質薄膜の物性値を測定する軟質薄膜の物性値測定方法である。図1は、軟質薄膜の物性値測定方法とそのための装置の構成を示す図である。液体音響媒体1と固体平板2との間に軟質薄膜3を介し、軟質薄膜3と固体平板2とを密着させる手段4により密着させる。液体音響媒体側から超音波計測手段5と接続された超音波探触子5aにより超音波を発信し5b、固体平板2と周囲環境6との界面である固体平板裏面2aからの超音波エコー5cを収録する。また、軟質薄膜3を挿入しない場合についても固体平板2と周囲環境6との界面である固体平板裏面2aからの超音波エコー5cを収録し、両者の振幅スペクトルを解析して軟質薄膜の物性値を算出する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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