プローブ顕微鏡およびプローブ顕微鏡型光記録再生ヘッド装置

開放特許情報番号
L2007000587
開放特許情報登録日
2007/2/9
最新更新日
2007/9/7

基本情報

出願番号 特願2006-010175
出願日 2006/1/18
出願人 国立大学法人群馬大学
公開番号 特開2007-192637
公開日 2007/8/2
発明の名称 プローブ顕微鏡およびプローブ顕微鏡型光記録再生ヘッド装置
技術分野 電気・電子、情報・通信
機能 制御・ソフトウェア
適用製品 光磁気記録媒体、プローブ顕微鏡型の光記録再生ヘッド実用化
目的 試料、あるいは試料に相当する光記録媒体からの情報読み出し信号へのノイズの低減、光学系の複雑大型化の改善。
効果 プローブ位置の検出および試料情報の検出を、相互に近軸位置で行うことができることから、正確に試料情報もしくは光記録媒体の記録情報を取り出すことができる。また、プローブ位置の検出および試料情報の検出を、対物レンズの近軸光とすることができることから、光学的に、ひずみ、収差の小さい検出を行うことができる。したがって、高感度、高解像度化が図られる。
技術概要
この技術では、観察照明光学系により、照明光をカンチレバーおよび試料に照射し、情報検出レーザ光をカンチレバーに照射して、照射状態等を照明光の戻り光の観察装置によって観察する。そして、移動ステージをxおよびy軸方向に移動させて、プローブが試料の表面上を走査するようになされ、各位置において、試料の表面状態、例えば、微細凹凸の検出等を原子間力の変化によるカンチレバーの傾き変化による変位を、2分割フォトダイオード、4分割フォトダイオード、PSD等による情報検出装置に導入される情報検出レーザ光の戻り光の入射スポット形状、位置の変化を、分割ダイオードの各部、センサの各部の光電変換によって検出された検出出力の演算によって検出する。このようにして、カンチレバーの傾きの変化によって、原子間力の測定、試料の表面の測定を行うことができる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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