| 出願番号 |
特願2004-342700 |
| 出願日 |
2004/11/26 |
| 出願人 |
国立大学法人 宮崎大学 |
| 公開番号 |
特開2006-156577 |
| 公開日 |
2006/6/15 |
| 登録番号 |
特許第4517147号 |
| 特許権者 |
国立大学法人 宮崎大学 |
| 発明の名称 |
極端紫外光源装置 |
| 技術分野 |
電気・電子 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
極端紫外光源装置 |
| 目的 |
液体ターゲットが液体ターゲット回収筒に回収されずに真空容器内に飛散して真空容器内の真空度が低下するのを防止するとともに、液体ターゲットが液体ターゲット回収筒に付着してつらら形状の氷に成長するのを防止すること。 |
| 効果 |
液体ターゲットがその流体不安定性による形状および位置のふらつきにより液体ターゲット回収筒に回収されずに真空容器内に飛散するのを防止することができる。液体ターゲットが真空容器内に飛散して真空容器内の真空度が低下するのを防止することができる。液体ターゲットが液体ターゲット回収筒に付着してつらら形状の氷に成長するのを防止することができる。 |
技術概要
 |
プラズマ発光光源装置１の液体ターゲット吐出ノズル４は、真空状態に保持されるプラズマ発光室Ａ内のレーザ光照射位置Ａ１に液体ターゲットＴを吐出する。吐出ノズル４から吐出されてレーザ光照射位置Ａ１を通過した液体ターゲットＴは、吐出ノズル４に対向する位置に配置された液体ターゲット回収用の内側回収筒９に進入する。内側回収筒９の内部の気体は、内側回収筒排気装置Ｓ１により排気される。したがって、吐出ノズル４から吐出されて内側回収筒９に進入した液体ターゲットＴは、内側回収筒排気装置Ｓ１の排気にともなって、内側回収筒内部Ｒ１から排出される。内側回収筒９の外側面と、その外周面を囲むように配置された外側回収筒１３の内周面との間の円筒状空間Ｒ２の気体は、円筒状空間排気装置Ｓ２により排気される。したがって、記液体ターゲット吐出ノズル４から吐出されて内側回収筒９の外側面と外側回収筒１３の内側面との間の円筒状空間Ｒ２に進入した液体ターゲットＴは、円筒状空間排気装置Ｓ２の排気にともなって、円筒状空間Ｒ２から排出される。液体ターゲットＴは、液体ターゲット回収筒９に回収されずに真空容器２内に飛散するのを防止することができる。 |
| イメージ図 |
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| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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