極端紫外光源装置

開放特許情報番号
L2007000234
開放特許情報登録日
2007/1/26
最新更新日
2010/7/2

基本情報

出願番号 特願2004-342700
出願日 2004/11/26
出願人 国立大学法人 宮崎大学
公開番号 特開2006-156577
公開日 2006/6/15
登録番号 特許第4517147号
特許権者 国立大学法人 宮崎大学
発明の名称 極端紫外光源装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 極端紫外光源装置
目的 液体ターゲットが液体ターゲット回収筒に回収されずに真空容器内に飛散して真空容器内の真空度が低下するのを防止するとともに、液体ターゲットが液体ターゲット回収筒に付着してつらら形状の氷に成長するのを防止すること。
効果 液体ターゲットがその流体不安定性による形状および位置のふらつきにより液体ターゲット回収筒に回収されずに真空容器内に飛散するのを防止することができる。液体ターゲットが真空容器内に飛散して真空容器内の真空度が低下するのを防止することができる。液体ターゲットが液体ターゲット回収筒に付着してつらら形状の氷に成長するのを防止することができる。
技術概要
プラズマ発光光源装置1の液体ターゲット吐出ノズル4は、真空状態に保持されるプラズマ発光室A内のレーザ光照射位置A1に液体ターゲットTを吐出する。吐出ノズル4から吐出されてレーザ光照射位置A1を通過した液体ターゲットTは、吐出ノズル4に対向する位置に配置された液体ターゲット回収用の内側回収筒9に進入する。内側回収筒9の内部の気体は、内側回収筒排気装置S1により排気される。したがって、吐出ノズル4から吐出されて内側回収筒9に進入した液体ターゲットTは、内側回収筒排気装置S1の排気にともなって、内側回収筒内部R1から排出される。内側回収筒9の外側面と、その外周面を囲むように配置された外側回収筒13の内周面との間の円筒状空間R2の気体は、円筒状空間排気装置S2により排気される。したがって、記液体ターゲット吐出ノズル4から吐出されて内側回収筒9の外側面と外側回収筒13の内側面との間の円筒状空間R2に進入した液体ターゲットTは、円筒状空間排気装置S2の排気にともなって、円筒状空間R2から排出される。液体ターゲットTは、液体ターゲット回収筒9に回収されずに真空容器2内に飛散するのを防止することができる。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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