| 出願番号 |
特願2008-537489 |
| 出願日 |
2007/9/26 |
| 出願人 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
WO2008/041585 |
| 公開日 |
2008/4/10 |
| 登録番号 |
特許第5229899号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
光走査装置 |
| 技術分野 |
情報・通信、機械・加工、その他 |
| 機能 |
制御・ソフトウェア、機械・部品の製造、その他 |
| 適用製品 |
光ビ−ムの走査によりスキャンを行う光スキャナ。 |
| 目的 |
この発明は、ミラー部と捻り梁部が連結・支持されている基板自体のバネ定数や形状を、周囲環境温度の変化や量産時のバラツキに合わせて変化させることにより、ミラー部が捻れ梁部によって支えられた振動子の捻れ振動の共振周波数ｆを一定に保つ機能と構造を有する光走査装置を提供することを目的とする。 |
| 効果 |
ミラー部を支持する捻れ梁部を有する基板に、基板自体の形状を制御する基板形状制御手段を設けることにより、周囲環境温度の変化により共振周波数が変動してもその変化を打ち消すように基板のバネ定数及び形状を制御し、捻れ梁部に支持されたミラー部の捻れ振動の共振周波数を一定に保つことができる。 |
技術概要
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光走査装置は、基板と、基板に連結された捻れ梁部と、捻れ梁部により支持されるミラー部と、基板を振動させる駆動源と、ミラー部に光を投射する光源とを備える。 ミラー部は駆動源によって基板に加えられる振動に応じて共振振動し、光源からミラー部に投射される光の反射光の方向がミラー部の振動に応じて変化する。 この発明では、基板と捻れ梁部との連結部から離れた基板の一部に駆動源を設けるとともに、基板自体の形状を制御する基板形状制御手段を基板に設けることを特徴としている。 |
| イメージ図 |
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| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
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