| 出願番号 |
特願2008-536388 |
| 出願日 |
2007/9/26 |
| 出願人 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
WO2008/038649 |
| 公開日 |
2008/4/3 |
| 登録番号 |
特許第5582518号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
光走査装置 |
| 技術分野 |
情報・通信、機械・加工、その他 |
| 機能 |
制御・ソフトウェア、機械・部品の製造、その他 |
| 適用製品 |
光ビームの走査によりスキャンを行う光スキャナ |
| 目的 |
ミラーサイズを確保しつつ装置全体の大きさを小さくすることができる光走査装置の提供を目的とする。 |
| 効果 |
ミラー部を支持する捻れ梁部の長さ方向におけるばね定数に分布を持たせることにより、捻れ梁部のばね定数に分布を持たない場合と比較し、共振周波数と走査角度双方において、捻れ梁部の長さを短く設計できる。 また、ミラー部を支持する捻れ梁部の実質長を捻れ梁部両端のミラー部端面と基板との間隔より長くすることから実現することにより、ミラー部と捻れ梁部の全長を代えることなく、ミラーサイズを大きく取ることができる。 |
技術概要
 |
光走査装置は、基板と、基板に連結された捻れ梁部と、捻れ梁部により支持されるミラー部と、基板を振動させる駆動源と、ミラー部に光を投射する光源とを備えている。 ミラー部は駆動源によって基板に加えられる振動に応じて共振振動し、光源からミラー部に投射される光の反射光の方向がミラー部の振動に応じて変化する。 この発明では、ミラー部を支持する捻れ梁部の長さ方向におけるばね定数に分布を持たせることを特徴としている。 この捻れ梁部の長さ方向におけるばね定数の分布は、ミラー部を支持する捻れ梁部の実質長を捻れ梁部両端のミラー部端面と基板との間隔より長くすることからなる。 |
| イメージ図 |
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| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
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