電子ビーム(EB)を用いた有機化合物の除去方法とその装置

開放特許情報番号
L2006007250
開放特許情報登録日
2006/12/8
最新更新日
2011/8/26

基本情報

出願番号 特願2005-032336
出願日 2005/2/8
出願人 独立行政法人日本原子力研究開発機構
公開番号 特開2006-218360
公開日 2006/8/24
発明の名称 電子ビーム(EB)を用いた有機化合物の除去方法とその装置
技術分野 化学・薬品、電気・電子
機能 洗浄・除去、機械・部品の製造
適用製品 電子ビーム(EB)を用いた有機化合物の除去装置
目的 EBにより有機化合物を分解し、その分解物および分解物由来の微粒子を高効率で帯電化させ、静電的に捕集する新しい方法とその方法を用いた気体浄化装置を提供する。
効果 気体中の芳香族有機化合物などの有機化合物を従来法より低エネルギーで効率よく除去することが可能となり、処理能力の向上すなわち処理された清浄気体中の有害成分の低減により、装置の小型化および稼動コストの低下が期待される。さらに、有害微粒子等を水溶液中に捕集することで、装置のメンテナンス性の向上と、稼動コストの低下が期待される。
技術概要
図1は両極帯電化を行う場合の有機化合物の除去装置の模式図である。図2は単極帯電化を行う場合の有機化合物の除去装置の模式図である。電子ビーム(EB)はEB発生器6により生成され、EB照射窓5を通じてEB照射容器1内の気体に直接照射される。この場合の1電子あたりのエネルギーは30〜400keV程度であることが好適である。EB発生装置6は、公知のEB発生装置を用いることができるが、たとえば、金属製フィラメントを熱し、あるいは金属電極等に強電場を印加して金属表面から生じた電子を、真空で電場により加速し、金属等の無機物あるいは有機物の薄い隔膜を通過させて、加速した電子を取り出す装置であることが好ましい。EBは連続的に発生させてもよく、断続的あるいはパルス的に発生させてもよい。図1では被処理気体の流通方向に対してEBの照射方向が略直角、図2では被処理気体の流通方向に対してEBの照射方向が略同一方向なっているが、被処理気体の流通方向に対してEBの照射方向は特に制約はなく、両極帯電化する場合も単極帯電化する場合も任意に設定できる。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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