出願番号 |
特願2006-230466 |
出願日 |
2006/8/28 |
出願人 |
独立行政法人産業技術総合研究所 |
公開番号 |
特開2008-051744 |
公開日 |
2008/3/6 |
登録番号 |
特許第4595073号 |
特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
発明の名称 |
熱電材料測定装置 |
技術分野 |
電気・電子 |
機能 |
検査・検出 |
適用製品 |
導電性材料、熱物性値、熱電材料測定装置、熱電変換材料 |
目的 |
熱電材料の熱電能分布を測定すると共に熱伝導率を測定することができる熱電材料測定装置および測定方法の提供。 |
効果 |
被測定試料の局所的な熱伝導率と熱電能と表面光学画像を1度の測定で収集し、パソコンに取り込んだ光学画像上の座標と、試料上のプローブコンタクト実座標を関連づけることによって、マイクロメートルサイズの再現性を有しながら、実測定試料表面上の希望する任意の位置を確実に測定できる。 |
技術概要
 |
この技術では、熱電材料測定装置は、被測定材料の測定表面を撮影する光学カメラを備えると共に、加熱ヒータを装備したプローブを備え、被測定材料を載置して測定ポイントを位置決めするステージ機構を備え、さらに、これらを駆動する制御装置、および測定データのデータ処理を行うデータ処理装置を備える。そして、被測定試料の局所的な熱伝導率と熱電能と表面光学画像を1度の測定で収集して2次元平面位置情報と熱物性値の相関を解析する。この熱電材料測定装置を用いて、被測定試料の局所的な熱伝導率と熱電能と表面光学画像を1度の測定で収集し2次元平面位置情報と熱物性値の相関を解析する熱物性値測定方法においては、光学カメラにより被測定材料の表面光学画像を撮影し、プローブにより被測定試料の局所的な熱伝導率と熱電能とを測定し、データ処理装置により測定した被測定試料の局所的な熱伝導率と熱電能と表面光学画像と対応付けて、2次元平面位置情報と熱物性値の相関を解析する。 |
実施実績 |
【無】 |
許諾実績 |
【無】 |
特許権譲渡 |
【否】
|
特許権実施許諾 |
【可】
|