超高密度貴金属又は磁性金属ナノ粒子分散コンポジット薄膜、同薄膜を用いた高感度分子検出用基板及び同薄膜の製造方法

開放特許情報番号
L2006007132
開放特許情報登録日
2006/12/1
最新更新日
2015/9/25

基本情報

出願番号 特願2006-228023
出願日 2006/8/24
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2007-093589
公開日 2007/4/12
登録番号 特許第4779152号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 超高密度貴金属又は磁性金属ナノ粒子分散コンポジット薄膜、同薄膜を用いた高感度分子検出用基板及び同薄膜の製造方法
技術分野 電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 分子電導測定、面状単一分子検出器、位置敏感単一分子検出器
目的 貴金属又は磁性金属ナノ粒子を、高い面内数密度で基板上に配置し、しかもナノ粒子相互間の距離を10nm以下に保ち、熱や化学物質によって近接したナノ粒子同士が融合して容易に大きな粒子にならない性質を持った薄膜を調製し、これをさまざまな分子計測用の基板として利用可能とした手法の実現。
効果 本技術の超高密度貴金属又は磁性金属ナノ粒子分散コンポジット薄膜は、貴金属又は磁性金属ナノ粒子が互いに10nm以下の距離で絶縁性物質により隔てられおり、かつこれら貴金属又は磁性金属ナノ粒子の数密度が10000個/μm↑2以上であるという、個々のナノ粒子が絶縁性物質で覆われた超高密度貴金属又は磁性金属ナノ粒子が分散した薄膜を得ることができるので、分子の導電性に変化を与える他の分子あるいは湿度などの外界環境を計測するためのセンサなどの基板として有効に利用できる。
技術概要
この技術の超高密度貴金属又は磁性金属ナノ粒子分散コンポジット薄膜は、貴金属又は磁性金属ナノ粒子が互いに10nm以下の距離で絶縁性物質により隔てられ、数密度が10000個/μm↑2以上の貴金属又は磁性金属ナノ粒子を備えている。貴金属としては、金、白金、銀、パラジウム、イリジウム、ロジウム、オスミウム又はこれらの金属を基とする合金などを使用することができ、また、磁性金属としては、鉄、コバルト、ニッケルなど又はこれらの金属を基とする合金などを使用することができる。更に、絶縁性物質としては、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、窒化硼素、窒化珪素、その他のセラミックスを使用できる。このようにして得られた超高密度貴金属ナノ粒子分散コンポジット薄膜は、高感度分子検出用基板に特に有用である。ナノ粒子として分散している貴金属又は磁性金属の原子数を絶縁性物質中に含まれる金属又は半金属若しくは金属性非金属(酸化ケイ素の場合はシリコン)の原子数で割った値が0.3以上であることが望ましい。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2017 INPIT