細孔付き光導波モードセンサー

開放特許情報番号
L2006007125
開放特許情報登録日
2006/12/1
最新更新日
2015/9/21

基本情報

出願番号 特願2006-224546
出願日 2006/8/21
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2008-046093
公開日 2008/2/28
登録番号 特許第5131806号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 細孔付き光導波モードセンサー
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 化学物質センサー、表面プラズモン共鳴、分子吸着、光導波モードセンサー、感度
目的 安定かつ加工が容易な光導波路材料に細孔が形成された光導波路を用い、光導波モードを利用する技術よりも高い感度かつ迅速に小さいサイズの被検出試料をラベルフリーで検出できる光導波モードセンサー及びそのセンサー用のチップを提供することの実現。
効果 容易に高感度かつ安定なセンサーを得られる。また、加工方法に、イオン注入によって得られる選択エッチングを用い、細孔を持つ光導波路における光導波モードを利用することによって、被検出試料の検出高感度化を図ることができる。また、表面プラズモン共鳴を利用する技術よりも、高い感度でかつ小さいサイズの被検出試料を、ラベルを使用することなく迅速に検出できる。
技術概要
この技術では、光導波モードセンサーは、透明な誘電体材料又は透明な伝導体材料の基板とその上に被覆した反射膜と、さらに反射膜の上に形成された光導波路層とからなるチップを用いる。この光導波路層に、光導波路層を貫通する細孔を複数形成し、チップの基板側から、反射膜に光を入射する光入射機構と、反射膜によって反射される光の反射光を検出する光検出機構とを備える。入射光の一部又は全部が光導波路層内を伝搬する光導波モードと結合することによって反射光強度が変化する光入射角度領域を用いて、光導波路層の表面に検出対象となる検体が吸着又は付着した際に生じる入射角度或いは反射光強度の変化を読み取ることにより検体の検出を行う。この光導波路層の厚さは、60nm〜1μmの範囲である。細孔は、孔を開けたときに表面積が増える面積増加量に等しい孔側面の面積の総和が光導波路1cm↑2当たり0.1cm↑2以上で、280cm↑2以下の範囲にある。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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