レーザ加工装置および計測用レーザ光の焦点検出方法

開放特許情報番号
L2006007079
開放特許情報登録日
2006/12/1
最新更新日
2008/3/28

基本情報

出願番号 特願2006-206062
出願日 2006/7/28
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2008-032524
公開日 2008/2/14
発明の名称 レーザ加工装置および計測用レーザ光の焦点検出方法
技術分野 電気・電子、機械・加工
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 除去加工、微細なレーザ加工、計測用レーザ光の焦点、ワーク、位置合せ
目的 加工用レーザ光と計測用レーザ光とがそれぞれ異なる光源から出射されているため、ワークに照射されるレーザ光の光軸に直交する方向で、加工用レーザ光の焦点位置と計測用レーザ光の焦点位置とを一致させることは困難であったことに鑑み、加工用レーザ光の焦点と加工対象物との位置合せを高精度で行うことが可能なレーザ加工装置および計測用レーザ光の焦点検出方法の提供。
効果 レーザ光出射手段から出射された計測用レーザ光の特性を測定するための出射光特性測定手段を備えているため、出射される計測用レーザ光の特性が変動しても、変動後の計測用レーザ光の特性を測定できる。したがって、出射される計測用レーザ光の特性が変動する場合であっても、出射光特性測定手段での測定結果に基づいて、計測用レーザ光の特性の変動分を考慮して、反射光特性測定手段で測定される反射光の特性を補正できる。
技術概要
この技術では、レーザ加工装置は、加工対象物の加工を行うための加工用レーザ光と加工対象物へ照射されるとともに加工用レーザ光よりも出力の小さな計測用レーザ光とを出射するレーザ光出射手段と、レーザ光出射手段から出射された計測用レーザ光の特性を測定するための出射光特性測定手段と、加工対象物で反射された計測用レーザ光の特性を測定するための反射光特性測定手段とを備える。このようなレーザ加工装置では、加工用レーザ光と計測用レーザ光とが共通のレーザ光出射手段から出射されている。そのため、加工用レーザ光および計測用レーザ光の光軸方向、および、光軸に直交する方向において、加工用レーザ光の焦点の位置と計測用レーザ光の焦点の位置とを一致させることが可能になる。また、加工対象物で反射された計測用レーザ光の特性を測定するための反射光特性測定手段を備えているため、反射光特性測定手段で測定された計測用レーザ光の特性に基づいて、計測用レーザ光の焦点の位置の検出が可能になる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT