| 出願番号 |
特願2005-317491 |
| 出願日 |
2005/10/31 |
| 出願人 |
国立大学法人 岡山大学 |
| 公開番号 |
特開2007-121241 |
| 公開日 |
2007/5/17 |
| 登録番号 |
特許第4876241号 |
| 特許権者 |
国立大学法人 岡山大学 |
| 発明の名称 |
接合強度測定方法及びこの方法を用いた接合強度測定装置並びに接合強度変動検出器 |
| 技術分野 |
電気・電子、金属材料 |
| 機能 |
検査・検出 |
| 適用製品 |
接合強度測定装置、半田バンプ接合強度測定装置 |
| 目的 |
微小な接合用金属と被接合用金属との接合強度を、精度よく測定可能な接合強度測定方法及び接合強度測定装置を提供する。 |
| 効果 |
接合用金属と被接合用金属との接合部分に確実に通電することができ、接合強度を精度よく測定できる。２カ所の接合部分の接合強度を同時に測定できるので、測定不良の検出を行いやすく、測定結果の信頼性を向上させることができる。 |
技術概要
 |
図１に示す、接合用金属１２−１、１２−２と、この接合用金属が接合された被接合用金属１１−１、１１−２との接合部に通電し、接合用金属の電位を被接合用金属１１−３の電位を基準として測定部１８により測定し、この電位の測定結果を解析することにより接合用金属と被接合用金属との接合強度を算定する接合強度の測定方法及び測定装置において、被接合用金属には第１の接合用金属１２−１と第２の接合用金属１２−２を接合して、第１の接合用金属から被接合用金属に通電部１７により測定用の電流を入力するとともに、第２の接合用金属から電流を出力させながら、第１の接合用金属の電位と第２の接合用金属の電位を測定する。解析部１９は、測定部１８の第１電位測定回路１８ａ−１及び第２電位測定回路１８ａ−２から出力された測定結果の電圧情報信号を解析する解析用回路を有す。また、第１の接合用金属１２−１と、第２の接合用金属１２−２と、被接合用金属１３の少なくともいずれか一つの温度を第１温度計測部１５、第２温度計測部１６で計測して、計測された温度に基づいて第１の接合用金属の電位及び／または第２の接合用金属の電位の測定結果を補正し接合強度を算定する。 |
| 実施実績 |
【試作】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【可】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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