| 出願番号 |
特願2005-105316 |
| 出願日 |
2005/3/31 |
| 出願人 |
国立大学法人静岡大学 |
| 公開番号 |
特開2006-098386 |
| 公開日 |
2006/4/13 |
| 登録番号 |
特許第4560627号 |
| 特許権者 |
国立大学法人静岡大学 |
| 発明の名称 |
散乱光検出方法及び走査型プローブ顕微鏡 |
| 技術分野 |
電気・電子 |
| 機能 |
検査・検出 |
| 適用製品 |
偏光変調装置、走査型プローブ顕微鏡 |
| 目的 |
レーザーをプローブ先端などへ直線偏光のＰ偏光成分を変調して照射できるようにし、更には、プローブが試料と常に接触しながら測定する場合においても、ＳＮＯＭ信号としての散乱光を変調し得て、試料の光物性を観察することのできる走査型プローブ顕微鏡、所謂近接場光学顕微鏡を提供する。 |
| 効果 |
レーザーをプローブ先端などへ直線偏光のＰ偏光成分を変調して照射することができ、もって、プローブが試料と常に接触しながら測定する場合においても、ＳＮＯＭ信号としての散乱光を変調し得て、試料の光物性を観察することのできる走査型プローブ顕微鏡、所謂近接場光学顕微鏡として提供することができる。 |
技術概要
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円偏光としたレーザーを回転する偏光子に通してプローブ先端へ直線偏光のＰ偏光成分を変調して照射する偏光変調装置と、プローブ先端にＰ偏光が照射されたタイミングでプローブ先端と試料との間の散乱光を検出する光検出部とを少なくとも有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡である。図１は、偏光変調装置の概要を示す斜視図、図２は、走査型プローブ顕微鏡の概要を示すシステム斜視図である。１１はレーザーダイオードであり、１２は１／４波長板、１３は回転偏光板であり、１／４波長板１２及び回転偏光板１３をレーダーダイオード１１から発射されるレーザーの光路上に順次配置して、偏光変調装置１０を構成する。図示では、その照射先を金属製のプローブ２０の先端としており、プローブ先端２１に近接場光Ｎを発生させ、プローブ先端２１と試料との間の散乱光、すなわちプローブ先端２１と試料表面との相互作用による散乱光Ｒを検知できるようしている。原子間力顕微鏡に外部光学系として偏光変調装置１０並びにＳＮＯＭ信号の光検出部を付設したような走査型プローブ顕微鏡７０となっている。 |
| イメージ図 |
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| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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