光波面測定方法および装置

開放特許情報番号
L2006005790
開放特許情報登録日
2006/9/15
最新更新日
2015/9/18

基本情報

出願番号 特願2006-171246
出願日 2006/6/21
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2008-002881
公開日 2008/1/10
登録番号 特許第4649663号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 光波面測定方法および装置
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 ファブリ・ペロ干渉計、光波面の収差の検出
目的 測定対象となる光をファブリ・ペロ干渉計に入射させてファブリ・ペロ干渉計の最低次の空間モードに共振させ、ファブリ・ペロ干渉計を透過してくる光を干渉の参照光として、ファブリ・ペロ干渉計と共振せずに反射される光の成分と干渉させることで収差を検出する波面の収差を測定する装置の提供。
効果 本技術に係る波面測定の方法および装置によれば、干渉に利用できる光のパワーを下げることなく高精度の参照波面を生成することが可能で、かつ収差の大きさに依存せずに測定することができる。
技術概要
この技術では、光源から放出された光がファブリ・ペロ干渉計の最低次の固有空間モードと共振している状態で、4分の1波長板を回し、ファブリ・ペロ共振器を透過した光が、波長板で調整した光源の偏光方向と一致する向きの直線偏光となるように調整する。次に、光源から放出された光がファブリ・ペロ干渉計の最低次の空間モードと共振する状態を保ちつつ、光源から放出された光のうちファブリ・ペロ干渉計を透過してくる成分と、光源から放出された光のうちファブリ・ペロ干渉計と共振せずに偏光ビームスプリッタの方向に戻って偏光ビームスプリッタで反射されレンズを透過してくる成分とを、部分反射鏡で干渉させることにより干渉縞を生成する。そして、干渉縞をCCDカメラで撮影して取得される画像を解析することで、光源から放出される光波面の収差を検出する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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