結晶性珪素マイクロチューブ及びその製造方法

開放特許情報番号
L2006005555
開放特許情報登録日
2006/9/8
最新更新日
2015/10/9

基本情報

出願番号 特願2004-304298
出願日 2004/10/19
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2006-117443
公開日 2006/5/11
登録番号 特許第4674349号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 結晶性珪素マイクロチューブ及びその製造方法
技術分野 無機材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 発光材料、電界放射材料等に有用な珪素マイクロチューブに適用する。
目的 特定の形状を有する結晶性の珪素マイクロチューブを提供する。
効果 アモルファス珪素を含まない結晶性珪素マイクロチューブであるので半導体分野への利用が期待され、更に、ナノチューブよりも直径が大きいので、チューブ内へ他の物質を充填することが容易であり、新規な機能の発現が期待できる。
技術概要
長さ方向に一様な外径のマイクロチューブ形状を有し、マイクロチューブが珪素結晶からなり、好ましくは、マイクロチューブの外径が2〜3μmであり、長さが数百μmである結晶性珪素マイクロチューブにする。このマイクロチューブは、例えば、加熱炉1に、一酸化珪素粉末15をいれた坩堝2を配置し、アルゴンガス等の不活性ガス16を150〜400sccmの流量で流しながら、一酸化珪素15を所定の温度(1500〜1750℃)で、所定の時間(1〜2時間)の間加熱することにより得られる。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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