炭素含有タングステン金属の超伝導細線の製造方法

開放特許情報番号
L2006005538
開放特許情報登録日
2006/9/8
最新更新日
2006/9/8

基本情報

出願番号 特願2004-250333
出願日 2004/8/30
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2006-063424
公開日 2006/3/9
発明の名称 炭素含有タングステン金属の超伝導細線の製造方法
技術分野 無機材料、金属材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 超伝導デバイス配線材料、超伝導量子干渉素子の微小ピックアップコイル、半導体デバイス配線材料等として有用な超伝導細線の製造に適用する。
目的 原料ガスを特定の手段で分解し堆積させることにより炭素含有タングステン金属の超伝導細線を製造する方法を提供する。
効果 ナノサイズの超伝導細線を簡便に作製することが可能になる。
技術概要
炭素原子を含有するタングステン有機金属[例えばW(CO)↓6等]ガスを、収束イオンビームまたは電子線により分解し、タングステンの金属を直接基板上に堆積させ、描画すると共に、その際に、タングステン有機金属ガス中炭素原子をタングステン金属に含有させる炭素含有タングステン金属の超伝導細線の製造方法にする。タングステン金属の超伝導転移温度は、含有される炭素原子の量により決まるので、収束イオンビームまたは電子線のエネルギー、電流量の調整により炭素含有量を、例えば0.02〜80at%に制御する。尚、収束イオンビームまたは電子線のエネルギー、電流量の調整により、超伝導細線の厚さ、幅及び長さも制御できる。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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