低エネルギーイオン照射による絶縁体中の軽元素分析・評価装置

開放特許情報番号
L2006005518
開放特許情報登録日
2006/9/8
最新更新日
2006/9/8

基本情報

出願番号 特願2004-224590
出願日 2004/7/30
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2006-046964
公開日 2006/2/16
発明の名称 低エネルギーイオン照射による絶縁体中の軽元素分析・評価装置
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 特性X線、材料分析・評価方法
目的 高額・大型の設備が必要なく、小型、低コストの設備で軽元素を含む絶縁体材料の分析・評価を高感度・高精度に行うことができる新規な絶縁体中の軽元素分析・評価装置の提供。
効果 従来の高エネルギーイオン照射励起により特性X線を発生させる手法を用いた装置に比べ、1桁から数桁低い加速電圧のイオンを用いるため、設備の小型化、低コスト化ができる。また、正イオンの加速電圧が低いために材料への進入深さも浅く、材料の表面の高感度分析や三次元的な分析ができる。
技術概要
この技術による軽元素分析・評価装置は、2から100keVの低エネルギーを有する正イオンを、軽元素を含む絶縁体試料に照射するイオン発生源と、正イオンの照射により絶縁体試料中に含まれる軽元素から発生する特性X線を検出するX線検出器と、絶縁体試料を配置するチャンバーを備え、さらに、イオン発生源からの正イオンビームを集束させるビーム集束手段、イオン発生源からの正イオンビームを絶縁体試料上で走査させるビーム走査手段を有する。尚、絶縁体試料中の測定対象の軽元素は、原子番号4番から17番の元素である。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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