低エネルギーイオン照射による絶縁体からの軽元素特性X線発生方法

開放特許情報番号
L2006005517
開放特許情報登録日
2006/9/8
最新更新日
2015/10/9

基本情報

出願番号 特願2004-224587
出願日 2004/7/30
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2006-046963
公開日 2006/2/16
登録番号 特許第4644853号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 低エネルギーイオン照射による絶縁体からの軽元素特性X線発生方法
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 材料表面、有機物質、生物物質分析
目的 高額・大型の設備が必要なく、小型、低コストの設備で軽元素の特性X線を効率良く発生させることが可能な新規な軽元素特性X線発生方法の提供。
効果 従来の電子線照射励起により特性X線を発生する方法に比べ、軽元素の特性X線を高効率で発生することができ、また従来の高エネルギーイオン照射励起により特性X線を発生する方法に比べ、イオンの加速電圧は1桁から数桁低く、設備の小型化、低コスト化ができる。
技術概要
この技術では、2から100keVの低エネルギーを有する正イオンを、軽元素を含む絶縁体材料ターゲットへ照射することにより、絶縁体材料ターゲットに含まれる軽元素の特性X線を発生させる。即ち、絶縁体材料ターゲットを真空中に配置し、温度を変化させると共に、軽元素の特性X線を発生させることを特徴とする軽元素特性X線正イオンビームを電場及び磁場の少くともいずれかの印加により集束させ、絶縁体材料ターゲット上で走査させる。尚、軽元素は原子番号4番から17番までの元素である。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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