炭素膜で被覆された酸化ガリウムナノケーブル及びその製造方法

開放特許情報番号
L2006005505
開放特許情報登録日
2006/9/8
最新更新日
2006/9/8

基本情報

出願番号 特願2004-181359
出願日 2004/6/18
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2006-001811
公開日 2006/1/5
発明の名称 炭素膜で被覆された酸化ガリウムナノケーブル及びその製造方法
技術分野 電気・電子、無機材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 発光材料、高温ガスセンサー、導電材料、触媒、電界放出材料
目的 酸化ガリウム粉末と活性炭粉末との混合物を、不活性ガス気流中で加熱して目的のナノケーブルを製造する方法を提供する。
効果 ナノケーブルの化学安定性が高く、各種に利用可能な材料を得る事が出来る。
技術概要
縦型高周波誘導加熱装置1の、反応管2の周囲に誘導加熱コイル3を設置し、坩堝4に(A)酸化ガリウム粉末と(B)活性炭粉末との混合物5を入れ、(C)不活性ガス6の気流中で加熱して、長さを100nm以上とする炭素膜で被覆された酸化ガリウムナノケーブルを得る。成分Aと成分Bとの重量比を7.0:1〜8.2:1とさせ、成分Cは窒素ガスなどで5〜1000sccmの流量とし、加熱を1100〜1500℃、0.5〜2時間とするのが好ましい。成分Aと成分Bの混合物5を坩堝4に入れ反応管2に配置した後に、真空排気し、減圧した後に、成分Cを流し、加熱コイル3で加熱するのが好ましく、成分Cの流量を1000sccm以上にすると生成物が吹き飛ばされて反応管2の内に堆積できず、5sccm以下では生成物が所望の場所に堆積せず好ましくない。生成物は芯が結晶性の酸化ガリウムナノワイヤーで、外層が面間隔0.34nmのグラファイト状炭素膜の二層構造で得られるのが好ましい。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2017 INPIT