ダイヤモンド紫外光トランジスター

開放特許情報番号
L2006005464
開放特許情報登録日
2006/9/8
最新更新日
2015/10/9

基本情報

出願番号 特願2004-124303
出願日 2004/4/20
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2005-310964
公開日 2005/11/4
登録番号 特許第4766364号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 ダイヤモンド紫外光トランジスター及びその製造方法
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 ダイヤモンド単結晶、ダイヤモンド紫外光トランジスター
目的 波長230nm以下の紫外光に対する受光感度を限界値の少なくとも150倍程度高めた紫外光センサー素子を用いたトランジスターであって、2端子電極間の電圧によって受光感度を制御可能な線形及び飽和特性を持つ、いわゆるトランジスター動作を示すダイヤモンド紫外光トランジスターの提供。
効果 波長220nmの紫外光をこの表面伝導層に照射することによって、受光感度が0.18A/Wの少なくとも150倍である30A/Wを実現し、同時に2端子間の印加電圧によって0から30A/Wまで制御可能で線形及び飽和特性を持つ、いわゆるトランジスター動作を示す光伝導型受光素子を得ることができる。
技術概要
この技術では、受光部材料の電気抵抗の変化又は光誘起電流の変化によって、受光部に照射される光を検出する光伝導型センサー素子を用いたトランジスターであって、実質的に結合水素原子によっておおわれた表面を持つか又は主たるキャリアが正孔である表面伝導層を持つダイヤモンド単結晶を受光部に持つようにしてダイヤモンド紫外光トランジスターを構成する。また、受光部材料の電気抵抗の変化又は光誘起電流の変化によって、受光部に照射される光を検出する光伝導型センサー素子を用いたトランジスターであって、実質的に炭素及び水素を含む雰囲気中において、プラズマ気相成長法又は気相成長法を用いて成膜されたダイヤモンド単結晶を受光部に持つものとしてもよい。また、2つの電極が表面伝導層に接合しており、その電極間の印加電圧によって受光感度又は光電流が制御可能であって、線形及び飽和特性を持つダイヤモンド紫外光トランジスターとしてもよい。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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