単結晶立方晶系窒化ガリウムナノチューブとその製造方法

開放特許情報番号
L2006005433
開放特許情報登録日
2006/9/8
最新更新日
2015/10/8

基本情報

出願番号 特願2004-038199
出願日 2004/2/16
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2005-225737
公開日 2005/8/25
登録番号 特許第3987935号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 単結晶立方晶系窒化ガリウムナノチューブとその製造方法
技術分野 無機材料、電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 簡便な操作で得られ、カソードルミネッセンス等の光学デバイス、集積回路等として広い分野で利用される。
目的 触媒やテンプレートを必要とせずに、単純な高温ルートのみで製造可能な、新規な単結晶立方晶系窒化ガリウムナノチューブとその製造方法の提供。
効果 バンドギャップエネルギーが小さく、青色や緑色領域の発光を呈し、ドーピング効率に優れており、その産業的利用価値は極めて大きい。
技術概要
主として単結晶の立方晶系窒化ガリウムで構成され、外径がナノメートルオーダーのナノチューブ形状を有している、単結晶立方晶系窒化ガリウムナノチューブ。尚、この単結晶立方晶系窒化ガリウムナノチューブは、横断面形状が略正方形ないしは略長方形であり、外径が50〜150ナノメートル、壁厚が20〜50ナノメートル、長さが1マイクロメートル以上である。更に、酸化ガリウム粉末をグラファイト坩堝に入れ、アンモニアガス及び窒素ガス雰囲気中で、1600℃±100℃に1〜2時間加熱することにより、単結晶立方晶系窒化ガリウムナノチューブを製造する。この際、アンモニアガス及び窒素ガスを、0.5〜1.5L/minの範囲の流量で導入して加熱する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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