| 出願番号 |
特願2004-038199 |
| 出願日 |
2004/2/16 |
| 出願人 |
独立行政法人物質・材料研究機構 |
| 公開番号 |
特開2005-225737 |
| 公開日 |
2005/8/25 |
| 登録番号 |
特許第3987935号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 発明の名称 |
単結晶立方晶系窒化ガリウムナノチューブとその製造方法 |
| 技術分野 |
無機材料、電気・電子 |
| 機能 |
材料・素材の製造 |
| 適用製品 |
簡便な操作で得られ、カソードルミネッセンス等の光学デバイス、集積回路等として広い分野で利用される。 |
| 目的 |
触媒やテンプレートを必要とせずに、単純な高温ルートのみで製造可能な、新規な単結晶立方晶系窒化ガリウムナノチューブとその製造方法の提供。 |
| 効果 |
バンドギャップエネルギーが小さく、青色や緑色領域の発光を呈し、ドーピング効率に優れており、その産業的利用価値は極めて大きい。 |
技術概要
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主として単結晶の立方晶系窒化ガリウムで構成され、外径がナノメートルオーダーのナノチューブ形状を有している、単結晶立方晶系窒化ガリウムナノチューブ。尚、この単結晶立方晶系窒化ガリウムナノチューブは、横断面形状が略正方形ないしは略長方形であり、外径が５０〜１５０ナノメートル、壁厚が２０〜５０ナノメートル、長さが１マイクロメートル以上である。更に、酸化ガリウム粉末をグラファイト坩堝に入れ、アンモニアガス及び窒素ガス雰囲気中で、１６００℃±１００℃に１〜２時間加熱することにより、単結晶立方晶系窒化ガリウムナノチューブを製造する。この際、アンモニアガス及び窒素ガスを、０．５〜１．５Ｌ／ｍｉｎの範囲の流量で導入して加熱する。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)