リン化インジウムで被覆された窒化インジウムナノワイヤーの製造方法

開放特許情報番号
L2006005398
開放特許情報登録日
2006/9/8
最新更新日
2015/10/8

基本情報

出願番号 特願2003-378946
出願日 2003/11/7
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2005-139045
公開日 2005/6/2
登録番号 特許第3987932号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 リン化インジウムで被覆された窒化インジウムナノワイヤーの製造方法
技術分野 無機材料、金属材料、電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 簡便な操作で得られ、電子デバイス、青〜紫色発光デバイス、レーザーダイオード、電界効果型トランジスター等として広い分野で利用される。
目的 物理的、機械的に保護、安定化された窒化インジウムナノワイヤーの製造方法の提供。
効果 酸化インジウム、インジウム及びリン化インジウムの粉末混合物をアンモニアガス気流中で加熱することにより、容易に製造でき、その工業的利用価値は極めて大きい。
技術概要
酸化インジウム、インジウム及びリン化インジウムの粉末混合物をアンモニアガス気流中で750℃〜850℃に加熱することにより、リン化インジウムで被覆された窒化インジウムナノワイヤーを製造する。尚、例えば、酸化インジウム粉末(純度99.9%)1.5g、インジウム粉末(純度99.9%)0.25g、リン化インジウム(純度99.9%)1.00gを混合し、粉末混合物を、純度99%のアルミナウエハーの上に載せ、アルミナウエハーを横型アルミナ高温管状炉の内部中央部に配置し、そして、横型アルミナ高温管状炉をロータリーポンプを用いて8×10↑(−2)Torrに減圧した後、アンモニアガスを流量150ml/minで流しながら800℃に2時間加熱した。加熱終了後、横型アルミナ高温管状炉を室温に冷却した。アルミナウエハー上に1.85gの暗灰色の、リン化インジウムで被覆された窒化インジウムナノワイヤーが堆積した。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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