ガラス材料中に誘起された構造変化のその場診断法

開放特許情報番号
L2006005388
開放特許情報登録日
2006/9/8
最新更新日
2015/10/8

基本情報

出願番号 特願2003-365206
出願日 2003/10/24
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2005-127924
公開日 2005/5/19
登録番号 特許第3777425号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 ガラス材料中に誘起された構造変化のその場診断法
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 フェムト秒レーザー、精密加工、石英ガラス、ガラス材料
目的 フェムト秒レーザーの照射によって石英ガラス等のガラス材料の内部に誘起される構造変化をその場でミクロ診断することのできる新しい方法の提供。
効果 原子レベルで照射位置での構造変化をその場でモニターすることができる。また、自己変調された光を検出することで、欠陥形成に起因する構造変化がその場で検出可能となる。
技術概要
この技術では、ガラス材料中へのフェムト秒レーザーの照射中にその場で自己束縛励起子からの発光を検出することによって、照射位置での酸素欠損欠陥の一つであるODC欠陥形成に係わる構造変化をその場で検出する。そして、自己束縛励起子からの発光を検出することによって、照射位置でナノ構造体形成に係わる構造変化をその場で検出する。また、自己束縛励起子からの発光を検出することによって、照射位置で微結晶形成に係わる構造変化をその場で検出する。また、フェムト秒レーザー照射中にその場で自己位相変調された光を検出することによって、照射位置での欠陥形成に起因した構造変化をその場で検出する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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