汎用ナノスケール計測技術による熱拡散率一点測定法

開放特許情報番号
L2006005378
開放特許情報登録日
2006/9/8
最新更新日
2015/10/8

基本情報

出願番号 特願2003-389367
出願日 2003/11/19
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2005-003665
公開日 2005/1/6
登録番号 特許第3968440号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 汎用ナノスケール計測技術による熱拡散率一点測定法
技術分野 情報・通信、電気・電子
機能 検査・検出、加熱・冷却、その他
適用製品 熱拡散率一点測定法
目的 ナノスケールにおいて、バルク体又は薄膜の熱拡散率を測定する汎用ナノスケール計測技術による熱拡散率一点測定法を提供する。
効果 測定データから熱減衰時定数をきっちり抽出できるフィッティング関数を見出し、そのフィッティング関数について、その適切な取り扱いができるようになった。
技術概要
本発明の汎用ナノスケール計測技術による熱拡散率一点測定法は、薄膜が有る又は無い物質のτ値及びそのD値を、TGC法を使って行う一点測定法であり、物質表面の温度変化に対する高い空間分解能を持たせるために創られた波長266nmのポンプパルス光の回折縞を有し、その回折縞の過渡変化を測定した過渡格子信号データ(TGS)又は過渡格子信号プロファイル(TGSプロファイル)から、既に用意されているレーザーフラッシュ(LFM)法による文献値に最も近いD値及びそのτ値を抽出するために創作されたフィッティング関数{S(t)=k[exp(−t/τ)]↑3}を使用してデータ解析処理することを特徴とする。図はTGC法に基づいて創られた光の回折縞イメージの概略説明図であり、サンプルはSiC(0001)基板である。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 測定データから熱減衰時定数をきっちり抽出できるフィッティング関数を見出し、そのフィッティング関数について、その適切な取り扱いができるようになった。
改善効果2 透光性半導体について、その吸収端より短い波長を有するポンプパルス光を使ってTGC法の中核を担う光格子の寿命を捕らえることができるようになった。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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