単結晶酸化タングステンナノチューブおよび単結晶酸化タングステンナノワイヤーとそれらの製造方法

開放特許情報番号
L2006005356
開放特許情報登録日
2006/9/8
最新更新日
2015/10/8

基本情報

出願番号 特願2003-304602
出願日 2003/8/28
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2005-075654
公開日 2005/3/24
登録番号 特許第3994161号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 単結晶酸化タングステンナノチューブとその製造方法
技術分野 無機材料、化学・薬品
機能 材料・素材の製造、加熱・冷却
適用製品 情報機器用ディスプレイ、各種センサー、記録装置等に用いる機能性材料
目的 情報機器用ディスプレイ、各種センサー、記録装置等に用いる機能性材料として有用な単結晶酸化タングステンナノチューブおよび単結晶酸化タングステンナノワイヤーとそれらの製造方法を提供する。
効果 薄膜状として得ることができるため、情報機器用ディスプレイ、各種センサー、記録装置等としての利用が期待される。
技術概要
本発明の単結晶酸化タングステンナノチューブは、外径が150〜350nm、内径が50〜150nmの範囲であって、長さが1μm以上のチューブ形状を有する単結晶酸化タングステンであることを特徴とする。赤外線照射加熱炉等を用いて、0.2Torr以下の圧力下で、タングステン箔を1000〜1050℃に、タンタルウエハーを600〜700℃に加熱して15〜25分間保持した後、圧力を10Torr以下として30〜60分間保持することで、外径が150〜350nm、内径が50〜150nm、長さが1μm以上のチューブ形状を有する単結晶酸化タングステンナノチューブを、また8〜15Torrの圧力下で、タングステン箔を1000〜1050℃に、タンタルウエハーを600〜700℃に加熱して50〜80分間保持することで、直径が20〜100nm、長さが1μm以上の線状の単結晶酸化タングステンナノワイヤーを製造する。図は薄膜状の酸化タングステンナノチューブをSEM観察した結果を例示した(a)斜視図と(b)上面図である。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 この出願の発明の単結晶酸化タングステンナノチューブにおいては、マイクロメートルサイズのチューブ状構造物に比べて高孔隙率および大表面積という特徴が得られ、より高効率および高活性な機能性材料が実現される。
改善効果2 単結晶酸化タングステンナノチューブ並びに単結晶酸化タングステンナノワイヤーは、組成が一般式W↓1↓8O↓4↓9で表され、長手方向が[010]方位であることを特徴としている。
改善効果3 薄膜状として得ることができるため、情報機器用ディスプレイ、各種センサー、記録装置等としての利用が期待される。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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