二酸化珪素ナノワイヤーの製造方法

開放特許情報番号
L2006005337
開放特許情報登録日
2006/9/8
最新更新日
2015/10/8

基本情報

出願番号 特願2003-180077
出願日 2003/6/24
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2005-015258
公開日 2005/1/20
登録番号 特許第3834646号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 二酸化珪素ナノワイヤーの製造方法
技術分野 無機材料、化学・薬品
機能 材料・素材の製造、加熱・冷却
適用製品 二酸化珪素ナノワイヤー、青色発光材料、光学ヘッド、光学デバイス
目的 安定した組成であって高度に配向した二酸化珪素ナノワイヤーの製造方法を提供する。
効果 安定した組成でかつ高度に配向した二酸化珪素ナノワイヤーを製造することが可能となることから、将来の青色発光材料、光学ヘッド、光学デバイスなどへの応用が期待される。
技術概要
本発明の二酸化珪素ナノワイヤーの製造方法は、ニッケルナノ粒子が付着したシリコン基板と、酸化インジウム粉末とを、赤外線照射加熱炉中かつ窒素ガス200〜1000ml/minとアンモニアガス200〜1000ml/minの混合気流中に離隔して配置し、赤外線照射加熱により、ニッケルナノ粒子が付着したシリコン基板を900〜1000℃、酸化インジウム粉末を650〜680℃に30〜60分間加熱することを特徴とする。加熱反応が終了した後、加熱炉内を室温に冷却することによりシリコンウェハーの表面に黒灰色である二酸化珪素ナノワイヤーの生成物が堆積し、安定な組成でかつ高度に配向した二酸化珪素ナノワイヤーを得ることができる。図の(a)は二酸化珪素ナノワイヤーの透過型電子顕微鏡像の写真、(b)はX線エネルギー拡散スペクトルのグラフである。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 安定した組成でかつ高度に配向した二酸化珪素ナノワイヤーを製造することが可能となることから、将来の青色発光材料、光学ヘッド、光学デバイスなどへの応用が期待される。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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