炭化ケイ素ナノワイヤーの製造方法

開放特許情報番号
L2006005307
開放特許情報登録日
2006/9/8
最新更新日
2015/10/7

基本情報

出願番号 特願2003-085571
出願日 2003/3/26
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2004-292222
公開日 2004/10/21
登録番号 特許第3709441号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 炭化ケイ素ナノワイヤーの製造方法
技術分野 化学・薬品、電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 炭化ケイ素ナノワイヤー
目的 簡便な方法で、長尺で、しかも径が大きい炭化ケイ素(SiC)ナノワイヤーを製造することのできる新しい方法を提供する。
効果 安価なクロロシランを用い、その熱分解という簡便な方法で、より長く、径の大きな炭化ケイ素(SiC)ナノワイヤーを製造することができる。しかも、ナノワイヤーとして、<111>方向に成長したβ型SiCである炭化ケイ素ナノワイヤーが提供される。
技術概要
式:R↓nSiCl↓4↓−↓n(Rは炭化水素基を示し、nは1〜3の整数を示す)で示されるクロロシランを1〜100Torrの範囲の減圧雰囲気下、水素、不活性ガスおよび希ガスの少くとも1種、又はこれらの混合ガスからなるキャリアーガス気流中、900℃以上1300℃以下の温度範囲に加熱する、β型炭化ケイ素ナノワイヤーの製造方法である。また、1〜10Torrの範囲の減圧雰囲気下に加熱する炭化ケイ素ナノワイヤーの製造方法である。さらに、クロロシランとキャリアーガスの流量が1:50〜500の範囲で、かつ流速が1〜2000cc/minである、炭化ケイ素ナノワイヤーの製造方法である。キャリアーガスの流通系の反応としてこの方法を実施する場合、たとえば図1のようなシステムを構成することができる。図2は炭化ケイ素ナノワイヤーの走査型電子顕微鏡写真、図3は炭化ケイ素ナノワイヤーの透過電子顕微鏡写真、図4は炭化ケイ素ナノワイヤーの透過電子顕微鏡の拡大写真と炭化ケイ素ナノワイヤーの電子線回折像である。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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