冷却式高量子効率フォトカソード型電子線源への高量子効率物質の被覆方法

開放特許情報番号
L2006005280
開放特許情報登録日
2006/9/8
最新更新日
2015/10/7

基本情報

出願番号 特願2003-436587
出願日 2003/12/15
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2004-221077
公開日 2004/8/5
登録番号 特許第3837566号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 冷却式高量子効率フォトカソード型電子線源への高量子効率物質の被覆方法
技術分野 電気・電子
機能 表面処理、機械・部品の製造
適用製品 冷却式高量子効率フォトカソード型電子線源への高量子効率物質の被覆システム
目的 高輝度で収差がほとんどなく、実用的に使用できる冷却式高量子効率フォトカソード型電子線源への高量子効率物質の被覆方法を提供する。
効果 電子顕微鏡、電子線加速器およびX線発生装置用の電子線源等の電子線源として有用であり、高輝度で収差がほとんどなく且つ安全性の高い冷却式高量子効率フォトカソード型電子線源への高量子効率物質の被覆方法が提供され、電子顕微鏡、電子線加速器、X線発生装置等の性能向上により、材料研究、物性研究、基礎物理等の研究が進展すれば、光におけるレーザの発明にも匹敵し得る経済的効果も期待される。
技術概要
図1に示しているように、冷却式高量子効率フォトカソード型電子線源では、冷却式フォトカソード電子線源本体を有する真空装置1と、雰囲気が超高純度アルゴンガスとされ、図3に示すような陰極ユニット2が閉じ込められた陰極ユニット密閉容器3から、この陰極ユニット密閉容器3内と同一の超高純度アルゴンガスの雰囲気中で陰極ユニット2を取り出し、電子線源本体に装填するグローブ4付きの不活性ガス中作業用カバー5とが取り外し可能に連結一体化されている。この冷却式高量子効率フォトカソード型電子線源および不活性ガス中作業用カバー5が取り付けられている被覆装置6により、陰極先端部にCs↓3Sbを被覆する工程から陰極ユニット2を電子線源本体に装填する工程の間に高量子効率物質であるCs↓3Sbが酸素に晒されないようにする。ここで、不活性ガス中作業用カバー5は、塩化ビニールで作製した丈夫なものであり、ビニール間の接合には溶着、THF(テトラヒドラフラン)での接着、市販の特殊接着材(スーパーX)を用いる。また不活性ガス中作業用カバー5には、図2のようにグローブ4を設ける。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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