酸化亜鉛ナノベルトとその製造方法

開放特許情報番号
L2006005238
開放特許情報登録日
2006/9/8
最新更新日
2015/10/7

基本情報

出願番号 特願2002-331408
出願日 2002/11/14
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2004-161570
公開日 2004/6/10
登録番号 特許第3893457号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 酸化亜鉛ナノベルトの製造方法
技術分野 無機材料、電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 酸化亜鉛ナノベルト
目的 電気的または光学的測定に適用するのに十分な大きさを有する酸化亜鉛ナノベルトとその製造方法を提供する。
効果 電気的または光学的測定に適用するのに十分な大きさを有する酸化亜鉛ナノベルトとその製造方法が提供される。
技術概要
断面形状が六角形である単結晶からなる酸化亜鉛ナノベルトの製造方法は、高真空赤外線照射加熱炉内に設置されたタンタル製容器内部に、鏡面仕上げされたシリコンウェーファと亜鉛を30〜40重量%含有する銅亜鉛合金ディスクとを離して設置する加熱ターゲット設置工程と、高真空赤外線照射加熱炉内を排気により減圧する排気行程と、排気行程終了直後から銅亜鉛合金ディスクの加熱を行う銅亜鉛合金ディスク加熱工程と、加熱工程の後に銅亜鉛合金ディスクの温度を室温まで冷却する冷却工程と、高真空赤外線照射加熱炉内を減圧しつつ酸化亜鉛の成長したシリコン基板を加熱する工程とを有する。酸化亜鉛ナノベルトは、長さが2〜4μmであり、幅が30〜150nmであり、厚さに対する幅の比率が2〜10である。光を照射することにより、379nm近傍の波長帯域の光を発光する。酸化亜鉛ナノベルトを、シリコン基板上に直接調整することで複合体として形成される。図1は、酸化亜鉛ナノベルトのSEM像である。図2は、リコン100%ウェーファ上に成長した酸化亜鉛ナノベルトのXRDパターンである。図3は、TEM顕微鏡写真である。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 酸化亜鉛ナノベルトおよび酸化亜鉛ナノベルト複合体は、電気的または光学的測定に適用するのに十分な大きさを有するとともに、波長が379nmの近傍の波長帯域であり、最大発光量が106meVの強い発光を呈する。この酸化亜鉛ナノベルトおよび酸化亜鉛ナノベルト複合体は、光学電子装置等への応用が可能であるだけでなく、シリコン電子工学と結合したナノテクノロジーの発展に寄与するものであるから、その実用化が強く期待される。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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