多元化合物作製装置

開放特許情報番号
L2006004934
開放特許情報登録日
2006/9/1
最新更新日
2015/10/6

基本情報

出願番号 特願2002-084318
出願日 2002/3/25
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2003-277914
公開日 2003/10/2
登録番号 特許第3752534号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 多元化合物作製装置
技術分野 金属材料
機能 機械・部品の製造
適用製品 次世代の新規デバイス用材料
目的 材料開発の高速化が実現可能で且つ組成比を連続的に変化させることのできる多元化合物作製装置の提供。
効果 本技術の多元化合物作製装置によって未知の多元化合物を高速に合成することができることから、これまでにない機能の化合物を発見することができる。そしてさらにそれらの特徴を生かした新規デバイスの作製の可能性を有しており、高い経済効果が期待できる。
技術概要
この技術は、基板上に3種類以上の材料の各々の組成比を連続的に変化させて気相成膜することで多元化合物を作製する装置であって、下方から材料蒸発機構、マスク移動機構、基板加熱装置を備えた基板回転機構の順にそれらを配置する。そして、材料蒸発機構は水平方向に回転する複数種類の材料に対し、1種類の材料ごとにレーザを照射してその材料を蒸発させる。又、マスク移動機構は、基板回転機構と材料蒸発機構の中間部に水平に配置された平板形状で水平面の中間部に開口部が形成された移動マスクを有し、その移動マスクを水平方向において一次元方向に往復運動させる。又、基板回転機構は基板加熱装置を備え、水平に配置された円板形状の基板を加熱しながら水平方向に回転させる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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