走査型トンネル顕微鏡用探針およびその作製方法

開放特許情報番号
L2006004848
開放特許情報登録日
2006/9/1
最新更新日
2015/10/5

基本情報

出願番号 特願2000-361807
出願日 2000/11/28
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2002-168757
公開日 2002/6/14
登録番号 特許第3520332号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 走査型トンネル顕微鏡用探針およびその作製方法
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 ナノテクノロジー、ナノスケール局所化学分析、DCマグネトロンスパッター法
目的 高導電性および高光透過性はもちろんのこと、高いプラズモン発光効率を得ることのできる、新しい走査型トンネル顕微鏡用探針およびその作製方法の提供。
効果 高導電性および高光透過性を有するとともに、高いプラズモン発光効率を得ることのできる、新しい走査型トンネル顕微鏡用探針、およびその作製方法を提供できる。また、この金属/ITO積層被膜の光ファイバー探針は、導電性も向上しており、探針の衝突をより効果的に防止して、探針の長寿命化をも図ることができる。
技術概要
 
本技術は、トンネル電子による光子計測を行う場合における走査型トンネル顕微鏡に好適に用いることのできる光ファイバー探針にITO薄膜およびプラズモン発光効率を高めるための銀薄膜が積層被膜されてなるもので、銀薄膜の膜厚が5nm〜25nmとされている。そして、本技術では、真空スパッター蒸着法により光ファイバー探針に銀薄膜およびITO薄膜を積層被膜している。このように、プラズモン発光効率の高い、たとえば銀、銅、金などの金属物質によりなる薄膜をITO被膜光ファイバー探針にさらに積層被膜させることにより、プラズモン発光効率を増大させ、ナノスケール局所化学分析において十分なプラズモン発光効率、つまり表面局所状態密度像および光子発生像の可視化をナノスケール分解能で可能とするプラズモン発光効率を実現することができる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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