超微粒子厚膜の形成方法

開放特許情報番号
L2006004841
開放特許情報登録日
2006/9/1
最新更新日
2015/10/5

基本情報

出願番号 特願2000-316771
出願日 2000/10/17
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2002-121682
公開日 2002/4/26
登録番号 特許第3380902号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 超微粒子厚膜の形成方法
技術分野 機械・加工
機能 材料・素材の製造、表面処理
適用製品 蒸発凝集法、気相反応法、担体、繊維集合体フィルター、焼結体フィルター
目的 2次元あるいは3次元で任意の形状を有し、任意の密度を有する均質な超微粒子厚膜と、その超微粒子厚膜の新規な形成方法の提供。
効果 本技術によると、超微粒子を分散質とする煙霧質を、通気性を有する担体を介して吸引濾過することにより、前記担体上に超微粒子堆積膜を形成し、その超微粒子堆積膜を焼成することで厚膜を形成するものであるから、2次元あるいは3次元で任意の形状を有し、任意の密度を有する均質な超微粒子厚膜を得ることができる。
技術概要
本技術は、アークプラズマまたは高周波プラズマにより超微粒子を分散質とする煙霧質を生成させ、これをそのまま通気性を有する担体を介して吸引濾過することにより担体上に超微粒子堆積膜を形成し、超微粒子堆積膜をそのまま焼成あるいは加圧成形した後に焼成することで厚膜を形成するようにしたものである。アークプラズマによる超微粒子製造装置を用いて超微粒子厚膜を形成する場合、まず、超微粒子厚膜の原料のPdをアーク溶解によりボタン状に成形し、「水素プラズマ−金属」反応法を利用して、分散質としてのPd超微粒子を発生させる。このPd超微粒子を、分散媒としての水素・アルゴン混合ガスとともにステンレス繊維フィルターを介して吸引することにより、ステンレス繊維フィルター上にPd超微粒子堆積膜を形成させる。得られたPd超微粒子堆積膜を、約0.1%Air−Ar中に静置して表面を安定化させた後、プレス成形し、H↓2−Ar雰囲気中で昇温速度:5℃/min,焼結温度:600℃で30分間焼成することで、Pd超微粒子厚膜を得る。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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